[实用新型]一种基于MEMS微镜的激光雷达有效

专利信息
申请号: 201520905420.4 申请日: 2015-11-13
公开(公告)号: CN205120965U 公开(公告)日: 2016-03-30
发明(设计)人: 吴晓春;胡睿;吴桥;肖长诗;文元桥 申请(专利权)人: 武汉理工大学
主分类号: G01S17/89 分类号: G01S17/89
代理公司: 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 代理人: 崔友明
地址: 430070 湖*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 mems 激光雷达
【权利要求书】:

1.一种基于MEMS微镜的激光雷达,其特征在于,包括激光脉冲发射装置、反射镜、MEMS微镜、MEMS微镜座、激光脉冲接收装置,MEMS微镜座与MEMS微镜连接,对MEMS微镜的镜面方向进行控制,激光脉冲发射装置射出的激光脉冲射入反射镜,经反射镜反射后射入MEMS微镜,经过MEMS微镜反射后的激光脉冲射出,到待测目标达障碍物表面,经过待测目标达障碍物表面发生漫反射,被激光脉冲接收装置接收。

2.根据权利要求1所述的基于MEMS微镜的激光雷达,其特征在于,还包括外壳、反射镜座,激光脉冲发射装置、反射镜、MEMS微镜、MEMS微镜座、激光脉冲接收装置设置在外壳的内部,反射镜通过反射镜座固定在外壳上,MEMS微镜通过MEMS微镜座固定在外壳上。

3.根据权利要求1或2所述的基于MEMS微镜的激光雷达,其特征在于,MEMS微镜为二维MEMS扫描微镜。

4.根据权利要求1或2所述的基于MEMS微镜的激光雷达,其特征在于,MEMS微镜座包括悬臂梁和MEMS微镜驱动电路,悬臂梁为双压电晶片元件构成的对称双S型结构,MEMS微镜固定在悬臂梁的顶部,双压电晶片元件中集成加热电阻,MEMS微镜驱动电路与加热电阻连接并改变加热电阻的电压。

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