[实用新型]一种基于MEMS微镜的激光雷达有效
申请号: | 201520905420.4 | 申请日: | 2015-11-13 |
公开(公告)号: | CN205120965U | 公开(公告)日: | 2016-03-30 |
发明(设计)人: | 吴晓春;胡睿;吴桥;肖长诗;文元桥 | 申请(专利权)人: | 武汉理工大学 |
主分类号: | G01S17/89 | 分类号: | G01S17/89 |
代理公司: | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人: | 崔友明 |
地址: | 430070 湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 mems 激光雷达 | ||
1.一种基于MEMS微镜的激光雷达,其特征在于,包括激光脉冲发射装置、反射镜、MEMS微镜、MEMS微镜座、激光脉冲接收装置,MEMS微镜座与MEMS微镜连接,对MEMS微镜的镜面方向进行控制,激光脉冲发射装置射出的激光脉冲射入反射镜,经反射镜反射后射入MEMS微镜,经过MEMS微镜反射后的激光脉冲射出,到待测目标达障碍物表面,经过待测目标达障碍物表面发生漫反射,被激光脉冲接收装置接收。
2.根据权利要求1所述的基于MEMS微镜的激光雷达,其特征在于,还包括外壳、反射镜座,激光脉冲发射装置、反射镜、MEMS微镜、MEMS微镜座、激光脉冲接收装置设置在外壳的内部,反射镜通过反射镜座固定在外壳上,MEMS微镜通过MEMS微镜座固定在外壳上。
3.根据权利要求1或2所述的基于MEMS微镜的激光雷达,其特征在于,MEMS微镜为二维MEMS扫描微镜。
4.根据权利要求1或2所述的基于MEMS微镜的激光雷达,其特征在于,MEMS微镜座包括悬臂梁和MEMS微镜驱动电路,悬臂梁为双压电晶片元件构成的对称双S型结构,MEMS微镜固定在悬臂梁的顶部,双压电晶片元件中集成加热电阻,MEMS微镜驱动电路与加热电阻连接并改变加热电阻的电压。
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