[实用新型]一种生产氮化硅的系统

权利要求书

1.一种生产氮化硅的系统，其特征在于，包括：

第一反应器，用于载气中原料第一氯硅烷与原料第一氨气反应，得到第一固体混合物和第一气体混合物，其中，所述第一固体混合物包括所述第一氯硅烷与所述第一氨气反应生成的第一含氮硅烷化合物和第一氯化铵，所述第一气体混合物包括载气和第一氨气；

加热装置，与所述第一反应器连接，所述第一反应器内的所述第一固体混合物进入所述加热装置，所述加热装置用于加热所述第一固体混合物反应，得到第二固体物质和第二气体混合物，其中，所述第二气体混合物包括所述第一氯化铵经过加热生成的氨气和氯化氢，所述第二固体物质包括所述第一含氮硅烷化合物经过加热生成的高α相含量的氮化硅；

淋洗塔，与所述加热装置连接，所述第二气体混合物进入所述淋洗塔，所述淋洗塔用于通入第二氯硅烷对所述第二气体混合物进行淋洗，得到第三固体混合物和第三气体物质，其中，所述第三固体混合物包括所述第二氯硅烷与所述第二气体混合物中的氨气反应生成的第二含氮硅烷化合物和第二氯化铵，所述第三气体物质包括氯化氢。

2.根据权利要求1所述的生产氮化硅的系统，其特征在于，所述淋洗塔的塔釜与所述加热装置的入口连接，用于所述第三固体混合物进入所述加热装置。

3.根据权利要求1所述的生产氮化硅的系统，其特征在于，所述加热装置包括：

第一加热器，包括第一加热器的入口、第一加热器的第一出口、第一加热器的第二出口，所述第一加热器的入口与所述第一反应器连接，用于所述第一反应器内的所述第一固体混合物进入所述第一加热器，在非氧化性气氛下，加热所述第一固体混合物反应，得到第四固体混合物和第四气体混合物，所述第四气体混合物包括所述第一加热器内的所述非氧化性气氛的气体、所述第一氯化铵发生热分解生成的氨气和氯化氢，所述第四固体混合物包括所述第一含氮硅烷化合物，所述第一加热器的第一出口与所述淋洗塔连接，所述第四气体混合物经过所述第一加热器的第一出口进入所述淋洗塔；

第二加热器，包括第二加热器的入口、第二加热器的第一出口、第二加热器的第二出口，所述第二加热器的入口与所述第一加热器的第二出口连接，用于所述第一加热器内的所述第四固体混合物进入所述第二加热器内，在氨气气氛下，加热所述第四固体混合物，得到第五固体混合物和第五气体混合物，所述第五固体混合物包括所述第一含氮硅烷化合物发生热分解生成无定形的氮化硅，所述第五气体混合物包括氨气气氛的气体、氯化氢、所述第一含氮硅烷化合物发生热分解生成的氨气，所述第二加热器的第一出口与所述淋洗塔连接，所述第五气体混合物经过所述第二加热器的第一出口进入所述淋洗塔；

第三加热器，与所述第二加热器的第二出口连接，所述第二加热器内的所述第五固体混合物进入所述第三加热器内，用于在非氧化性气氛下，加热所述第五固体混合物，得到所述第二固体物质和所述第二气体混合物，所述无定形的氮化硅经过加热生成高α相含量的氮化硅。

4.根据权利要求1所述的生产氮化硅的系统，其特征在于，还包括：

第二反应器，包括第二反应器的入口和第二反应器的出口，所述第二反应器的入口与所述淋洗塔的塔顶连接，用于所述第三气体物质由所述淋洗塔的塔顶进入所述第二反应器，所述第二反应器用于通入硅粉与所述第三气体物质加热反应得到第三氯硅烷，所述第二反应器的出口与所述第一反应器连接，所述第三氯硅烷进入所述第一反应器内。

5.根据权利要求4所述的生产氮化硅的系统，其特征在于，还包括：

精馏装置，包括精馏装置的入口和精馏装置的出口，所述精馏装置的入口与所述第二反应器的出口连接，所述精馏装置的出口与所述第一反应器连接，所述精馏装置用于对所述第三氯硅烷进行精馏提纯，提纯过的第三氯硅烷进入所述第一反应器。

6.根据权利要求4所述的生产氮化硅的系统，其特征在于，所述第二反应器的出口还与所述淋洗塔连接，用于所述第三氯硅烷进入所述淋洗塔内用于淋洗。