[实用新型]一种油加热型真空阀

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空阀，具体为一种油加热型真空阀。

背景技术

在Parylene镀膜过程中，各个腔室和管道要用真空阀隔离开来。工作的时候真空阀开启，材料蒸汽会流经阀体，由于阀体是常温的，材料就会在阀体的密封面和O型圈上沉积，破坏原有的密封性能。当需要关闭阀门时，就会因为有缝隙而达不到工艺要求，不能正常生产。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种油加热型真空阀，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种油加热型真空阀，包括高温油入口、加热腔、高温油出口、阀体，其特征在于，所述的阀体上方设有薄型气缸，薄型气缸通过上阀口固定板与下阀口固定板之间的连接固定在阀体上方，阀体内部设有密封波纹管，密封波纹管下方设有阀板，阀板下方设有第一阀口，所述的第一阀口设在阀体下方，所述的阀体四周设有加热腔，加热腔上设有高温油入口和高温油出口，阀体的左端设有第二阀口；所述的第一阀口设在阀体下端；所述的密封波纹管设在阀体中心位置。

优选的，所述的高温油入口设在加热腔上端，所述的高温油出口设在加热腔下端；这样由于重力作用，油会自动向下流动，节省推动的动力。

优选的，所述的加热腔中由高温油入口灌入高温油；使用高温油对其加热，使其加热跟腱均匀稳定，做出的产品质量更高。

本实用新型的有益效果在于，解决了真空阀由于温度过低导致失效的问题，同时使用高温油加热使得设备加热更加均匀、稳定、可靠。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图中：1-薄型气缸、2-上阀口固定板、3-下阀口固定板、4-高温油入口、5-密封波纹管、6-加热腔、7-阀板、8-第一阀口、9-高温油出口、10-第二阀口、11-阀体。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，本实用新型提供一种油加热型真空阀，包括高温油入口4、加热腔6、高温油出口9、阀体11，其特征在于，所述的阀体11上方设有薄型气缸1，薄型气缸1通过上阀口固定板2与下阀口固定板3之间的连接固定在阀体11上方，阀体11内部设有密封波纹管5，密封波纹管5下方设有阀板7，阀板7下方设有第一阀口8，所述的第一阀口8设在阀体11下方，所述的阀体11四周设有加热腔6，加热腔6上设有高温油入口4和高温油出口9，阀体11的左端设有第二阀口10；所述的第一阀口8设在阀体11下端；所述的密封波纹管5设在阀体11中心位置。

优选的，所述的高温油入口9设在加热腔6上端，所述的高温油出口9设在加热腔6下端；这样由于重力作用，油会自动向下流动，节省推动的动力。

优选的，所述的加热腔6中由高温油入口灌入高温油；使用高温油对其加热，使其加热跟腱均匀稳定，做出的产品质量更高。

薄型气缸1是个气动部件，通过电磁阀的通断气，来控制气缸输出动作。密封波纹管5起到连接薄型气缸1的主轴和阀板7的作用，主轴的动作带动密封波纹管5和阀板7做上下动作，起到阀门或开闭的作用。阀板7是起到封闭或开启第一阀口8的作用。第一阀口8为出气口，第二阀口10为进气口。

本实用新型在工作的时候将高温油入口4接入到模温机上，模温机输出的高温油（180℃），进过阀体11上的加热腔6中，然后由高温油出口9回流进模温机，形成一个循环加热系统。模温机输出油的温度，由阀体上的温度传感器控制，保证阀体的温度可调可控，这样就可以控制跟调节阀体11内的温度，使其保障持在一定的高温状态下。

本实用新型的有益效果在于，解决了真空阀由于温度过低导致失效的问题，同时使用高温油加热使得设备加热更加均匀、稳定、可靠。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。