[实用新型]晶圆直切机有效
| 申请号： | 201520895447.X | 申请日： | 2015-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN205254332U | 公开（公告）日： | 2016-05-25 |
| 发明（设计）人： | 金朝龙;赵耀 | 申请（专利权）人： | 苏州天弘激光股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/08 | 分类号： | B23K26/08;B23K26/38;B23K26/70;B23K37/04 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 顾伯兴 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶圆直切机 | ||
【权利要求书】：
1.晶圆直切机，其特征在于：它包括机台底座、位于机台底座顶部的基座、固定于基座上的立柱、位于立柱上的光学底板、位于光学底板上的激光器、位于光学底板下的光路密封箱、安装在基座上的中空X-Y二维平台、安装在中空X-Y二维平台的中空位置的中空DD旋转马达、安装在中空DD旋转马达的中空的顶部的玻璃载台、安装在X-Y二维平台的中空的底部的CCD以及位于CCD之下的可对CCD进行三维调节的CCD调节装置；所述的光路密封箱位于玻璃载台的上方。
2.根据权利要求1所述的晶圆直切机，其特征在于：所述中空X-Y二维平台包括光栅尺读数头、直线电机及导轨。
3.根据权利要求1所述的晶圆直切机，其特征在于：所述玻璃载台上设置有真空吸附孔通过真空吸附而固定产品。
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