[实用新型]一种坩埚及其坩埚护板

说明书

技术领域

本实用新型涉及多晶铸锭技术领域，更具体地说，涉及一种坩埚及其坩 埚护板。

背景技术

目前，随着多晶铸锭技术的发展，一部分厂家的铸锭炉热场结构从G5热 场结构时代走向G6热场结构时代，但是由于热场结构技改的成本问题，一部 分厂家仍然使用G5热场结构，一部分厂家更换为G6热场结构，然而，G5热场 结构与G6热场结构由于坩埚尺寸不同，导致使用的坩埚护板尺寸不同，对于 同时使用G5和G6坩埚的厂家来说，G5坩埚和G6坩埚的不通用导致其互换性和 利用率都降低。同时，随着对硅片产品要求提高，大多数厂家开始引进大尺 寸坩埚来消除硅片的红边，正常G6坩埚的尺寸通常为长度范围在 1040mm-1050mm，而大尺寸G6坩埚的尺寸通常为长度范围为 1050mm-1065mm之间，大尺寸G6坩埚的增加，导致正常G6坩埚的护板上腰形 孔不能满足使用。提高了互换性和利用率。

综上所述，如何有效地解决在热场结构的更换中，坩埚护板的使用率和 互换性低的问题，是目前本领域技术人员急需解决的问题。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种坩埚护板，能够提高坩埚护 板的利用率以及普适性。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种坩埚护板，设置于坩埚的外侧面，包括：沿所述坩埚四周布置的四 个板体，所述板体一侧的表面上设置有至少两排安装孔，所述至少两排安装 孔均在与所述坩埚底边垂直的方向上排列，所述板体另一侧的端面上设置有 用于与相邻板体的一排安装孔固定连接的螺纹孔。

优选的，在上述坩埚护板中，所述板体一侧的表面上设置有与所述板体 另一侧距离范围为880mm-1040mm的第一排安装孔、与所述板体另一侧距离 范围为1040mm-1050mm的第二排安装孔，与所述板体另一侧距离范围为 1050mm-1065mm的第三排安装孔。

优选的，在上述坩埚护板中，所述安装孔为腰型孔。

优选的，在上述坩埚护板中，所述第一排安装孔、第二排安装孔与所述 第三排安装孔平行设置。

优选的，在上述坩埚护板中，所述第一排安装孔、第二排安装孔与所述 第三排安装孔相错设置。

本实用新型还提供一种坩埚，包括如上述任一项所述的坩埚护板。

从上述技术方案可以看出，本实用新型所提供的一种坩埚护板，设置于 坩埚的外侧面，包括：沿所述坩埚四周布置的四个板体，所述板体一侧的表 面上设置有至少两排安装孔，所述至少两排安装孔均在与所述坩埚底边垂直 的方向上排列，所述板体另一侧的端面上设置有用于与相邻板体的一排安装 孔固定连接的螺纹孔。在使用本实用新型提供的坩埚护板时，四个板体两两 相邻连接将坩埚四周包围，针对不同尺寸的坩埚，在板体表面设置有不同的 安装孔，一排安装孔对应一种尺寸的坩埚，随着坩埚大小的更换，无需更换 板体，只需要利用板体上不同的安装孔即可，使得同一坩埚护板能够应用于 不同坩埚，提高了坩埚护板的利用率以及普适性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将 对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地， 下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来 讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的一种坩埚护板的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的一种坩埚结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术 方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部 分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通 技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本 实用新型保护的范围。

请参阅图1，图1为本实用新型实施例提供的一种坩埚护板的结构示意图。