[实用新型]一种光刻机光源有效
| 申请号： | 201520880906.7 | 申请日： | 2015-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN205210510U | 公开（公告）日： | 2016-05-04 |
| 发明（设计）人： | 孙者利;张运 | 申请（专利权）人： | 济南卓微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 250200 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 光源 | ||
【权利要求书】：
1.一种光刻机光源，其特征在于，包括10颗以上的紫外线灯珠均匀分布在光源板正面，紫外线灯珠通过导线连接到发生器上，发生器调节光源强度。
2.根据权利要求1所述的一种光刻机光源，其特征在于，紫外线灯珠直径为0.1-10mm。
3.根据权利要求1所述的一种光刻机光源，其特征在于，光源板背面沿紫外线灯珠分布方向设置有循环水管，循环水管连接冷水循环泵，冷水循环泵安装于发生器内。
4.根据权利要求3所述的一种光刻机光源，其特征在于，光源板为边长110mm的正方形板，50颗直径为3mm的紫外线灯珠呈4个同心圆均匀分布在光源板正面，相邻两个同心圆之间的半径差为50-60mm。
5.根据权利要求4所述的一种光刻机光源，其特征在于，每个紫外线灯珠的功率为2w，共100w。
6.根据权利要求4所述的一种光刻机光源，其特征在于，所述光刻机光源，距离硅片80mm，紫外线强度12-20uw/cm2，曝光时间为5-8秒。
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