[实用新型]采用复合材料的蓝宝石长晶炉侧保温屏

说明书

技术领域

本实用新型涉及泡生法蓝宝石长晶炉的热场领域，尤其涉及采用复合材料的蓝宝 石长晶炉侧保温屏，同时可适用于其他相似领域。

背景技术

蓝宝石又称白宝石，是世界上硬度仅次于金刚石的晶体材料，由于具有高声速、耐 高温、抗腐蚀、高硬度、高透光性、熔点高（2045℃）等优良的物理、机械、化学及红外透光性 能，一直是微电子、航空航天、军工等领域急需的材料，凭借其极高的强度、硬度、红外透过 性能和抗热冲击性能。该材料在光学窗口、半导体照明、微波器件等领域都有广泛的应用， 已成为用量仅次于硅单晶的一种功能晶体材料。尤其是光学级大尺寸蓝宝石材料，由于其 具有性能稳定、市场需求量大、综合利用率及产品附加值高等特点，成为近年国内外研究开 发和产业化热点。蓝宝石晶体的生长方法很多，但只有泡生法才能获得缺陷和应力少的大 尺寸高光学质量的蓝宝石晶体，目前70%的蓝宝石材料是由泡生法制造的。

泡生法蓝宝石长晶炉包括炉体、热场、控制系统、真空系统、水冷系统及动力系统。 为保证原料三氧化二铝能够保持在熔融状态，从化料到长晶结束，内部需要维持2000℃以 上的高温，因此热场作为保温材料具有非常重要的作用。同时，因为温度高，热场经常损坏， 必须更换，这就大大增加了蓝宝石的生产成本。而其中，侧保温屏更换的频率最高，价格也 较昂贵。

发明内容

（一）要解决的技术问题

为了克服上述技术问题，本实用新型设计了采用复合材料的蓝宝石长晶炉侧保温 屏，将侧保温屏最容易损坏的地方设置为单独结构，可经常更换，因为面积小，因此成本也 低，并且可以根据实际需要设置为不同的材料。

（二）技术方案

为达到上述目的，本实用新型提供了采用复合材料的蓝宝石长晶炉侧保温屏，包 括钼上侧屏1，钼下侧屏3和中侧屏2，所述的钼上侧屏1、钼下侧屏3和中侧屏2设置为直径相 同的圆筒状保温层，相互之间通过钼卡环4连接固定。

所述的中侧屏2设置在所述的钼上侧屏1和所述的钼下侧屏3之间，处在中部高温 区。

所述的中侧屏2设置为钼材质。

所述的中侧屏2设置为钨材质。

本实用新型的有益效果主要表现在：将侧保温屏最容易损坏的地方，设置为可单 独更换的结构，可以因为面积减小，从而达到降低成本的目的。

附图说明

图1为复合结构的蓝宝石长晶炉侧保温屏的结构图。

具体实施方式

下面结合具体的实施例对本实用新型作进一步展开说明，但需要指出的是，本实 用新型所要求保护的结构并不限于实施例及说明书附图中的具体结构。对于本领域普通技 术人员可以推知的其他结构形式，亦属于本发明所要求保护的范围之内。

请一并参阅图1，采用复合材料的蓝宝石长晶炉侧保温屏，包括钼上侧屏1，钼下侧 屏3和中侧屏2。所述的钼上侧屏1和钼下侧屏3采用钼材质，具有耐高温，热反射性能好的优 点。

所述的钼上侧屏1、钼下侧屏3和中侧屏2设置为直径相同的圆筒状保温层，相互之 间通过钼卡环4连接固定。

所述的中侧屏2设置在所述的钼上侧屏1和所述的钼下侧屏3之间，处在中部高温 区。由于蓝宝石长晶炉的发热元件是设置在中部区域，由于高温的原因保温材料会挥发，并 且经过高温烧烤以后，材料会变脆，易损害，因此所述的中侧屏2是一个经常更换的易损件。

所述的中侧屏2设置为钼材质，具有耐高温，价格较便宜的优点，但是高温以后脆 性大，容易损坏。

所述的中侧屏2设置为钨材质，具有耐高温，不易损坏的优点，但是价格很高。