[实用新型]一种聚合物辐照损伤测试装置

权利要求书

1.一种聚合物辐照损伤的测试装置，包括相互独立的光源室、光路室和样品室，所述光路室和样品室为真空腔室，且所述光源室、光路室和样品室之间通过法兰窗口隔断；

所述光源室中设置有用于产生预定波长的准分子激光的准分子激光源，所产生的准分子激光入射到光路室中；

所述光路室内设置有光路传输部件和光学检测部件；所述光路传输部件包括：光束衰减器、匀束器、快门、聚焦透镜、第一分束镜和第二分束镜，用于将入射到所述光路室的准分子激光变为能量可调节的、能量密度均匀的和辐照时间可控制的聚焦光斑而出射出去；所述光学检测部件包括能量计和光束质量分析仪，用于测试所在位置的光束能量和光斑面积，以获得辐照到样品上的能量密度；

所述样品室放置有样品座、样品、质谱计和真空泵组，其中样品座具有三维调节装置，用于对所述样品座进行x、y和z轴三维调节，所述质谱计在线测试所述样品室的气体组分，以实时监测与判断样品是否发生辐照损伤，同时分析样品发生辐照损伤产生的碎片气体组分；所述真空泵组用于对样品室进行抽真空。

2.如权利要求1所述的聚合物辐照损伤的测试装置，其中，所述光束衰减器中沿光路依次且对称放置有镀膜衰减镜片和补偿镜片，通过齿轮耦合同时调节两镜片的倾斜角度，来控制所述准分子激光光源辐照到样品上的能量；从所述光束衰减器出射的准分子激光入射到匀束器，使得从匀束器出射的光束变为能量密度均匀的准分子激光；所述第一分束镜与光路呈45°角放置，将光束分为两部分，一部分从所述第一分束镜反射到所述能量计上，另一部分透过所述第一分束镜入射到聚焦透镜上；所述聚焦透镜能将光束进行汇聚；所述第二分束镜置于聚焦透镜和快门之间，且与光路也呈45°角放置，用于将光束分为两部分，一部分被反射到光束质量分析仪上，另一部分透过所述第二分束镜入射到快门；所述快门用于控制光路的迅速通断，从而控制激光辐照到样品上的时间。

3.如权利要求1所述的聚合物辐照损伤的测试装置，其中，通过调节所述样品座的z轴坐标，改变辐照到样品上的光斑面积，通过调整样品座的x轴和y轴坐标，选择所述样品上的不同辐照点。

4.如权利要求1-3任一项所述的聚合物辐照损伤的测试装置，其还包括控制单元，其作用如下：

控制准分子激光光源的充放气，调节其放电电压和重复频率；

控制光束衰减器中镜片的倾斜角度，从而控制能量的衰减；

操控快门以控制辐照时间和辐照脉冲个数；

操控能量计和光束质量分析仪的启动、采集和停止；

控制样品座的三维调节装置，使准分子激光垂直辐照到样品被辐照面的各个位置。

5.如权利要求1-3任一项所述的聚合物辐照损伤的测试装置，其还包括数据采集单元，用于实时采集能量计、光束质量分析仪和质谱计探测到的信号，并进行相应的计算。