[实用新型]静电卡盘静电力的检测系统

权利要求书

1.一种静电卡盘静电力的检测系统，其特征在于，包括：

一晶片；

一静电卡盘，该静电卡盘具有相对设置的第一表面和第二表面，第一表面用于放置所 述晶片，第二表面具有一进气口；

一微力探头单元，该微力探头单元设置于所述晶片远离所述静电卡盘的一侧，用于接 触所述晶片；

一气体背吹控制单元，该气体背吹控制单元与所述静电卡盘的进气口连通，用于向所 述静电卡盘提供气体；

一自动控制与采集单元，实时采集并存储所述微力探头单元和气体背吹控制单元中的 数据，自动控制所述静电卡盘静电力检测系统。

2.如权利要求1所述静电卡盘静电力的检测系统，其特征在于，所述微力探头单元包括 至少一个子微力探头组件，该每一个子微力探头组件包括一进给机构、一微力传感器及一 探头，所述进给机构驱动所述探头向所述晶片运动，所述微力传感器实时检测所述探头的 受力大小。

3.如权利要求2所述静电卡盘静电力的检测系统，其特征在于，所述一个子微力探头组 件设置于所述晶片中心的上方，其余子微力探头组件沿所述晶片表面的边缘均匀设置。

4.如权利要求1所述静电卡盘静电力的检测系统，其特征在于，所述静电卡盘内部具有 多个背吹通道，从所述进气口进入的气体经过该背吹通道与所述晶片接触。

5.如权利要求2所述静电卡盘静电力的检测系统，其特征在于，所述进给机构具有一移 动端，所述微力传感器的一端固定于所述进给机构的移动端，所述微力传感器的另一端用 于固定所述探头。

6.如权利要求1所述静电卡盘静电力的检测系统，其特征在于，所述气体背吹控制单元 依次包括一气源、一电磁方向阀、一机械减压阀、一电子比例阀及一气体压强变送器。

7.如权利要求6所述的静电卡盘静电力的检测系统，其特征在于，所述气体背吹控制单 元进一步包括一气体质量流量计，该气体质量流量计与所述气体压强变送器之间的气管与 所述静电卡盘的进气口连接。

8.如权利要求1所述静电卡盘静电力的检测系统，其特征在于，所述自动控制与采集单 元包括数据采集卡、PLC控制器和计算机，所述数据采集卡与所述微力探头单元及气体背吹 控制单元电连接，采集所述微力探头单元及气体背吹控制单元中的数据，所述数据采集卡 通过一数据采集通信板与所述计算机互相通信，计算机发出逻辑指令，通信至所述数据采 集卡，所述数据采集卡一方面向所述气体背吹控制单元发送电流信号，另一方面向所述PLC 控制器发送电压信号。

9.如权利要求8所述静电卡盘静电力的检测系统，其特征在于，所述数据采集卡包括一 电桥信号采集卡、一电流信号采集卡、一电压输出卡，所述电桥信号采集卡与所述微力探头 单元电连接，所述电流信号采集卡与所述气体背吹控制单元电连接，所述电压输出卡与所 述PLC控制器电连接。

10.如权利要求8所述静电卡盘静电力的检测系统，其特征在于，所述数据采集卡的采 集频率范围为1000Hz~2000Hz。