[实用新型]MEMS麦克风

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：

衬底；

第一支撑层，设置于所述衬底上；

振膜层，所述振膜层包括锚区和可振动的膜层，所述锚区设置于所述第一支撑层上，所述膜层可移动地连接所述锚区；

第二支撑层，设置于所述振膜层的锚区之上；

背极板，所述背极板的一部分与所述膜层通过电介质流体分开，所述背极板的另一部分设置于所述第二支撑层上；

第一导电层，设置于所述第二支撑层上；

第一焊盘，设置于所述背极板上；以及

第二焊盘，设置于所述第一导电层上，

其中，所述第一导电层与所述背极板彼此电隔离，并且所述第一导电层连接所述振膜层。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第二支撑层设置有第一通孔，所述第一导电层通过所述第一通孔连接所述振膜层的锚区。

3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第二支撑层包括彼此隔开的第一部分和第二部分，

所述背极板的一部分与所述振膜层的可振动的膜层通过电介质流体分开，所述背极板的另一部分设置于所述第二支撑层的第一部分上；

所述第一导电层设置于所述第二支撑层的第二部分上，并沿着所述第二部分的侧壁延伸连接所述振膜层。

4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述背极板和所述第一导电层的高度相同。

5.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第二支撑层的一部分位于所述衬底上，所述MEMS麦克风还包括第二导电层，所述第一导电层、所述背极板以及所述第二导电层彼此电隔离，所述第二导电层电连接所述衬底。

6.根据权利要求5所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第二支撑层设置有第二通孔，所述第二导电层通过所述第二通孔连接所述衬底。

7.根据权利要求5所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第二支撑层包括彼此隔开的第一部分、第二部分和第三部分，

所述背极板的一部分与所述振膜层的膜层通过电介质流体分开，所述背极板的另一部分设置于所述第二支撑层的第一部分上；

所述第一导电层设置于所述第二支撑层的第二部分上，并沿着所述第二部分的侧壁延伸连接所述振膜层；

所述第二导电层设置于所述第二支撑层的第三部分上，并沿着所述第三部分的侧壁延伸连接所述衬底。

8.根据权利要求3所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述背极板设置有第一凹槽，所述第一焊盘设置于所述第一凹槽中，所述第一导电层设置有第二凹槽，所述第二焊盘设置于所述第二凹槽中。

9.根据权利要求8所述的MEMS麦克风，其特征在于，在所述第一凹槽的下方，所述第二支撑层的第一部分设置有第三凹槽；在所述第二凹槽的下方，所述第二支撑层的第二部分设置有第四凹槽。

10.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：

衬底，所述衬底包括相对的第一表面和第二表面，并且所述衬底设有声腔；

支撑层，设置于所述衬底的第一表面上；

锚区，所述锚区设置于所述支撑层上；

膜层，所述膜层设置于所述衬底的上方，并且可移动地连接所述锚区，所述膜层的一部分悬于所述声孔上方；

第一导电层，所述第一导电层设置于所述支撑层上；

第一焊盘，设置于所述第一导电层上；以及

第二焊盘，设置于所述锚区上，

其中，所述第一导电层与所述锚区彼此电隔离，并且所述第一导电层连接所述衬底的第一表面。

11.根据权利要求10所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述支撑层设置有第一通孔，所述第一导电层通过所述第一通孔连接所述衬底的第一表面。

12.根据权利要求10所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述支撑层包括彼此隔开的第一部分和第二部分，

所述锚区设置于所述支撑层的第一部分上；

所述第一导电层设置于所述支撑层的第二部分上，并沿着所述第二部分的侧壁延伸连接所述衬底的第一表面。

13.根据权利要求10所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第一导电层设置有第一凹槽，所述第一焊盘设置于所述第一凹槽中；所述锚区设置有第二凹槽，所述第二焊盘设置于所述第二凹槽中。