[实用新型]四腔室结构射频激光器

权利要求书

1.一种四腔室结构射频激光器；其中四腔室包括：中心的气密激光腔，和围绕在气密激光腔周围的光束整形腔、低功率射频腔、高功率射频腔；四腔室结构射频激光器主要包括四腔室和附着于四腔室上的各功能配件；四腔室结构射频激光器整体采用气密激光腔在内，光束整形腔、低功率射频腔、高功率射频腔分布于其周围的一体式结构。

2.根据权利要求1所述的四腔室结构射频激光器，其特征在于：

四腔室结构射频激光器整体呈长方体形。

3.根据权利要求1所述的四腔室结构射频激光器，其特征在于：

气密激光腔位于四腔室结构射频激光器的中心位置。

4.根据权利要求1所述的四腔室结构射频激光器，其特征在于，

光束整形腔、低功率射频腔、高功率射频腔分布于气密激光腔的外围。

5.根据权利要求1所述的四腔室结构射频激光器，其特征在于：

气密激光腔、光束整形腔、低功率射频腔、高功率射频腔是在一块铝材上加工而成，它们是一个整体。

6.根据权利要求1所述的四腔室结构射频激光器，其特征在于：

还包括：在光束整形腔、低功率射频腔、高功率射频腔外都有盖板密封各自腔室。

7.根据权利要求6所述的四腔室结构射频激光器，其特征在于：

在光束整形腔外有一用于密封防尘的盖板。

8.根据权利要求6所述的四腔室结构射频激光器，其特征在于：

在低功率射频腔外有一用于密封防尘和屏蔽的盖板。

9.根据权利要求6所述的四腔室结构射频激光器，其特征在于：

在高功率射频腔外有一用于密封防尘和屏蔽的盖板。

10.根据权利要求1所述的四腔室结构射频激光器，其特征在于：

在低功率射频腔与气密激光腔之间安装有预电离电极。

11.根据权利要求1所述的四腔室结构射频激光器，其特征在于：

在高功率射频腔与气密激光腔之间安装有射频电极。

12.根据权利要求1所述的四腔室结构射频激光器，其特征在于：

在光束整形腔内安装有光束整形镜和直流电源。

13.根据权利要求1所述的四腔室结构射频激光器，其特征在于：

在气密激光腔内安装有正电极板和负电极板，射频电极穿过腔壳与正电极板连接。

14.根据权利要求1所述的四腔室结构射频激光器，其特征在于：

在气密激光腔的一端安装有全反射镜，在另一端安装有部分反射镜，在部分反射镜的外侧安装有折返镜座，在折返镜座上装有两片反射镜，将部分反射镜窗口输出的激光束折反到光束整形腔内，激光束通过光束整形腔内的光束整形镜整形成接近于圆形光束平行输出。

15.根据权利要求1所述的四腔室结构射频激光器，其特征在于：

高功率射频腔由控制单元、高功率射频单元组成，并且腔内安装有大功率穿芯电容用于引入电流，旁边还有负极线连接孔。

16.根据权利要求1所述的四腔室结构射频激光器，其特征在于：

低功率射频腔由驱动分配单元、驱动单元、预电离单元组成。

17.根据权利要求16所述的四腔室结构射频激光器，其特征在于：低功率射频腔内的各单元之间都是各自独立的，各单元之间的导线都安装在线槽内，这样确保线路信号不受干扰；控制信号从控制单元进入低功率射频腔是通过同轴的一对穿芯电容实现的，这样防止高功率射频单元内射频电流对控制信号的干扰。

18.根据权利要求1所述的四腔室结构射频激光器，其特征在于：四腔室结构射频激光器主要由一体的气密激光腔、光束整形腔、低功率射频腔、高功率射频腔和附着其上的正极板、负极板、射频电极、预电离电极、全反射镜、部分反射镜、全反法兰、半反法兰、折返镜、光束整形镜、直流电源、控制单元、高功率射频单元、驱动分配单元、驱动单元、预电离单元、冷却系统这些部分组成。