[实用新型]一种晶圆传输末端执行器

权利要求书

1.一种晶圆传输末端执行器，包括盘主体(1)，其特征在于，所述的盘主体(1)呈U形状，其U形闭合端带有连接部位，所述的连接部位上设有两个安装定位孔(2)，所述的盘主体的U形开口端带有第一U形臂和第二U形臂，且在第一U形臂和第二U形臂中间设有一端臂，所述的端臂与第一U形臂和第二U形臂平行。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆传输末端执行器，其特征在于，所述的端臂末端设有高加速度限位凸台(6)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆传输末端执行器，其特征在于，所述的高加速度限位凸台(6)上嵌有橡胶(7)。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆传输末端执行器，其特征在于，所述的端臂中部设有中心校正工艺孔(3)。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆传输末端执行器，其特征在于，所述的第一U形臂与第二U形臂上各设有两个锥形凸台(4)，所述的锥形凸台(4)相对中心校正工艺孔(3)中心对称。

6.根据权利要求4所述的一种晶圆传输末端执行器，其特征在于，所述的第一U形臂和第二U形臂分别与U形闭合端的连接处设有一圆弧形的斜切面(5)，其圆心为中心校正工艺孔(3)。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆传输末端执行器，其特征在于，所述的斜切面(5)与盘主体(1)的水平面的夹角为30度。