[实用新型]背板冷却装置有效
申请号: | 201520850240.0 | 申请日: | 2015-10-29 |
公开(公告)号: | CN205052057U | 公开(公告)日: | 2016-02-24 |
发明(设计)人: | 关立伟 | 申请(专利权)人: | 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司;京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H05K7/20 | 分类号: | H05K7/20 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 李相雨 |
地址: | 017020 内蒙古*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 背板 冷却 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及显示器制造技术领域,特别是涉及一种背板冷却装置。
背景技术
市场广泛使用的屏幕是LCD和OLED,而OLED主要应用于小尺寸面板。OLED与LCD相比,其显示具有轻薄,低功耗,高对比度,高色域,可以实现柔性显示等优点,是下一代显示器的发展趋势。OLED显示包括PMOLED和AMOLED显示,其中AMOLED显示的实现方式有低温多晶硅(LTPS)背板+精细金属掩膜(FMMMask)方式和氧化物薄膜电晶体(Oxide)背板+白光有机电致发光器件(W-OLED)+彩膜的方式。前者主要应用于小尺寸面板,对应手机和移动应用;后者主要应用于大尺寸面板,对应控制面板和电视等应用。现在LTPS背板+FMMMask的方式已经初步成熟,实现了量产。OLED显示技术和产业的国家和地区主要集中在亚洲,OLED市场前景广阔。
现有工艺中,仅限750x650mm的LTPS背板进行蒸镀,LTPS背板在经取向工艺、切割工艺等进入OLED工艺,而在进行蒸镀之前,需经清洗机去除微料等相关杂质,烤箱高温烘烤去除背板清洗后的水分,冷却设备冷却烘烤后的背板。如图1和2所示,图1和2示出了现有技术的背板冷却装置,该背板冷却装置包括密封箱100和风机200,密封箱100包括一侧设有敞口的箱体101及设于箱体101用于盖合和打开敞口的箱门102,箱体101中设有若干层用于承托背板300的托板103,风机200设于箱体101中且位于托板103的一侧,用于向放置于托板103上的背板300吹扫冷却气体。该背板冷却装置,使用风机200对背板单侧面吹风冷却,背板仅冷却到40℃左右,且需要4min的时间,存在背板冷却不均匀,冷却温度不够低,冷却时间长等缺点。使得背板因冷却不均导致背板及膜层变化或损伤,冷却时间长严重影响工艺中单件生产时间,影响产能,设备利用率低。
实用新型内容
(一)要解决的技术问题
本实用新型的目的是提供一种冷却速度快,背板冷却均匀的背板冷却装置。
(二)技术方案
为了解决上述技术问题,本实用新型提供一种背板冷却装置,包括密封箱和风机,密封箱包括一侧设有敞口的箱体及设于箱体且用于盖合和打开敞口的箱门,箱体中设有若干用于承托背板的托板,每层所述托板上方设有吹气板,每个所述吹气板设有多个出气口朝向所述托板的吹气孔,所述风机通过进气管分别与所述吹气孔连通。
其中,所述吹气板为平面吹气板,所述平面吹气板与所述托板相对设置,所述吹气孔设于平面吹气板的下表面。
其中,所述吹气板为人字形吹气板,所述吹气孔设于所述人字形吹气板的下垂沿。
其中,所述托板上方设有直线导轨副和用于驱动所述直线导轨副的电机,人字形吹气板设于直线导轨副且在所述电机的驱动下来回移动。
其中,所述电机为伺服电机。
其中,所述人字形吹气板为多个。
其中,所述进气管设有阀门。
其中,该背板冷却装置还设有控制模块,所述阀门为电磁阀,所述控制模块分别与所述风机及电磁阀连接,用于控制所述风机的开闭及所述电磁阀的开闭。
其中,所述托板上表面的侧边位置设有吸气管,所述吸气管与外部吸气设备相连接。
其中,所述托板上设有多个用于支撑背板的柔性支撑柱。
其中,所述柔性支撑柱由橡胶制成。
(三)有益效果
本实用新型提供的背板冷却装置,在托板上方设置吹气板,吹气板上设有朝向背板的吹气孔,风机通过进气管向吹气孔提供冷却气体,冷却气体从上方向放置于托板上的背板吹扫,提高背板的冷却速度,背板冷却过程中各部分温差小,冷却均匀,减少玻璃和膜层的损伤,降低产品不良率,而且冷却时间短,设备利用率高。
附图说明
图1为现有技术的背板冷却装置的侧视图;
图2为图1中沿A-A的剖视图;
图3为本实用新型背板冷却装置实施例1和2的正视图;
图4为本实用新型背板冷却装置实施例1沿B-B的剖视图;
图5为图3沿C-C的剖视图;
图6为本实用新型背板冷却装置实施例2沿B-B的剖视图;
图7为本实用新型背板冷却装置实施例2的吹气板的立体图。
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