[实用新型]半导体设备零件承载台车有效

专利信息
申请号: 201520845049.7 申请日: 2015-10-28
公开(公告)号: CN205113376U 公开(公告)日: 2016-03-30
发明(设计)人: 李澄盛 申请(专利权)人: 世平科技(深圳)有限公司
主分类号: B62B3/00 分类号: B62B3/00;B62B3/10
代理公司: 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 代理人: 黄威
地址: 518106 广东省深圳市光明新区公明办*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 半导体设备 零件 承载 台车
【权利要求书】:

1.一种半导体设备零件承载台车,以承载半导体设备的零件,其特征在于:所述半导体设备零件承载台车包括:

台车主体,是以多个框架所组成,其中所述台车主体具有多个框架层,每一所述多个框架层具有多个方格,每一所述方格的尺寸是大于所述半导体设备的所述零件的尺寸,以容纳所述零件;

多个透明隔板,设置于所述多个框架层的周围;以及

多个车轮,设置于所述台车主体的下方。

2.根据权利要求1所述的半导体设备零件承载台车,其特征在于:所述半导体设备零件承载台车还包括多个凸状横架,设置于所述台车主体的上方,其中每一所述凸状横架具有多个凸状结构。

3.根据权利要求2所述的半导体设备零件承载台车,其特征在于:所述多个凸状结构为多个连续的山形凸状结构。

4.根据权利要求2所述的半导体设备零件承载台车,其特征在于:所述多个凸状结构为多个不连续的山形凸状结构。

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