[实用新型]无限远共轭距显微物镜杂散光测试仪

权利要求书

1.一种无限远共轭距显微物镜杂散光测试仪，其特征在于，依次包括：

光源，用于提供照明均匀的光；

成像装置，用于接收所述光源发射的光并成像；所述成像装置包括组合 用于成像的无限远共轭距显微物镜和管透镜、位于所述无限远共轭距显微物 镜前焦面上并用于为所述无限远共轭距显微物镜提供黑斑的黑体目标板；

三目观察装置，用于观察保证测量时黑斑的位置放置正确；

滤光装置，所述成像装置出射的光通过所述滤光装置过滤后输出可见光 波段；

第一光阑，其接收所述可见光波段并选择所述可见光波段中所述黑斑的 特定黑斑像区域的光用于测量；

测试积分球，其对接收的所述第一光阑选择的测量光进行均光和衰减； 以及，

光电倍增管，其用于测量经所述测试积分球均光和衰减的光的能量；

其中，所述三目观察装置依次包括：可上下移动的半五角棱镜、分光棱 镜、空间棱镜、直角棱镜、第一目镜以及第二目镜；所述成像装置成像后发 射的光依次经过所述半五角棱镜后方向转变45度后经过所述分光棱镜分成 两束反向平行光，所述两束反向平行光中的一束通过所述空间棱镜到达所述 第一目镜、另一束通过所述直角棱镜到达所述第二目镜。

2.如权利要求1所述的无限远共轭距显微物镜杂散光测试仪，其特征在 于，所述滤光装置依次包括截止400nm以下光谱的高通滤光片以及截止 700nm以上光谱的低通滤光片。

3.如权利要求1或2中所述的无限远共轭距显微物镜杂散光测试仪，其 特征在于，所述光源包括：

组合光源，其包括积分球面扩展光源和浸油处理的余弦漫透射片；以及，

第二光阑，用于改变所述组合光源的照明数值孔径。

4.如权利要求3所述的无限远共轭距显微物镜杂散光测试仪，其特征在 于，所述积分球面扩展光源和所述余弦漫透射片通过发黑处理的连接筒连接。