[实用新型]一种熔化石英玻璃的坩埚用固定装置有效
申请号: | 201520831200.1 | 申请日: | 2015-10-26 |
公开(公告)号: | CN205077137U | 公开(公告)日: | 2016-03-09 |
发明(设计)人: | 蒋立新;张国武;陈彬 | 申请(专利权)人: | 四川神光石英科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/448 | 分类号: | C23C16/448;C23C16/40 |
代理公司: | 中国工程物理研究院专利中心 51210 | 代理人: | 翟长明;韩志英 |
地址: | 621999 四川省绵阳*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 熔化 石英玻璃 坩埚 固定 装置 | ||
技术领域
本实用新型属于材料成型加工领域,具体涉及一种熔化英玻璃的坩埚用固定装置。
背景技术
惯性约束核聚变(Inertialconfinementfusion,简称ICF),即激光引发核聚变,是未来实现可控核聚变,为人类提供高效清洁能源的希望所在,并可提高国家核武器的研究和装备水平,是综合国力在科技领域的标志性体现。但由于其难度大和风险高等因素,目前只有美国、法国、中国等为数不多的国家在不断地进行探索。作为ICF理想的光学材料之一,大口径紫外光学石英玻璃(ZS)被广泛应用于ICF装置中的空间滤波器、开关窗口、诊断分束板、连续相位板、聚焦靶镜、分束取样光栅等元器件,是ICF研制不可或缺的基础材料。同时该材料也广泛用于航空航天及IC行业。
紫外光学石英玻璃生产采用化学气相沉积法CVD进行生产,以高纯四氯化硅和氢气、氧气为原料,经过高温气相反应、沉积熔制成石英玻璃砣料。为了能得到满足实际使用的合适尺寸石英玻璃产品就需要将化学气相沉积法生产的坨料用石英玻璃熔化设备通过高温熔化手段进行二次成型。高温二次成型对坩埚强度要求高,坩埚在高温下软化变形,导致成型材料无法达到预期规格尺寸,使用后的坩埚不能连续使用,加大了成本投入。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种熔化英玻璃的坩埚用固定装置。
本实用新型的熔化英玻璃的坩埚用固定装置,其特点是,所述的装置包括U型条和紧固件;U型条一端封闭,另一端开放,第一根U型条的封闭端与第二根U型条的开放端通过紧固件连接,四根U型条顺序连接成一组内侧为方形的封闭的熔化英玻璃的坩埚用固定装置。
所述的熔化英玻璃的坩埚用固定装置为二组叠加或以上一起使用。
所述的U型条材料为钼、钨。
所述的紧固件为螺杆、螺母。
所述的紧固件为焊接形成。
所述的紧固件材料为钼、钨。
本实用新型的熔化英玻璃的坩埚用固定装置能够保证方形石英玻璃尺寸可控,操作简便,可重复使用,且符合不同尺寸规格的石英玻璃熔化成型要求。
附图说明
图1为本实用新型的熔化英玻璃的坩埚用固定装置结构示意图;
图2为本实用新型的熔化英玻璃的坩埚用固定装置的螺杆、螺母连接结构示意图;
图中,1.U型条2.螺杆3.螺母。
具体实施方式
下面结合附图和实施例具体说明本实用新型。
实施例1
图1为本实用新型的熔化英玻璃的坩埚用固定装置结构示意图,图2为本实用新型的熔化英玻璃的坩埚用固定装置的螺杆、螺母连接结构示意图。
图1中U型条一端封闭,另一端开放,第1根U型条的封闭端与第2根U型条的开放端通过螺杆连接,两侧用螺母固定(见图2),4根U型条顺序连接成内侧为方形的1组封闭的熔化英玻璃的坩埚用固定装置。
U型条、螺杆、螺母材料为钼。
实施例2
实施例2与实施例1的实施方式基本相同,区别在于U型条材料为钨,采用焊接方式固定。
实施例3
实施例3与实施例1的实施方式基本相同,区别在于根据加工的石英玻璃砣料的高度要求将2组或2组以上的封闭的熔化英玻璃的坩埚用固定装置叠加使用。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的