[实用新型]一种多层石墨烯污点拍照检测装置

权利要求书

1.一种多层石墨烯污点拍照检测装置，其特征在于，包括：机架和设置在机架上的扫描机构、控制器、操作机构、拍照机构、图像处理器、密封罩、鼓风器、及抽真空器；

扫描机构包括扫描架和固定在扫描架上激光器、升降器，激光器包括一扁平激光发生器、一圆头激光发生器及凹形的激光接收槽，激光接收槽内侧的设有若干激光传感器；激光传感器、两激光发生器和升降器分别与控制器电连接；

操作机构包括移动台和设置在移动台上的固定器、反射镜及光屏，移动台上设置有横向移动器和纵向移动器，移动台及光屏与控制器电连接；光屏设置在移动台的侧方，用于产生单一色彩的光；反射镜设于固定器的下方；

拍照机构包括固定在机架上的固定架、设置在固定架上的照相机；在照相机的镜头处设有伸缩装置，在伸缩装置下方设有可移动的放大镜；该拍照机构与控制器相连；

图像处理器设置与机架内部，与控制器相连，用于图像处理；

密封罩设于机架上方，并与机架构成不透光的密闭空间，在密封罩的边沿处设有密封环；

抽真空器设置与机架内，包括真空电机、出气口、及抽气口；出气口、及抽气口之间设有单向阀；所述鼓风器的鼓风头上具有扁平的喷嘴；

鼓风器与设置与机架上包括依次相连的氮气罐、电磁阀、及鼓风头；在抽气口处还通过电磁阀及管道连接该氮气罐。

2.根据权利要求1所述的多层石墨烯污点拍照检测装置，其特征在于，所述真空电机采用220v的三相交流步进电机；所述出气口大于抽气口。

3.根据权利要求1所述的多层石墨烯污点拍照检测装置，其特征在于，所述氮气罐内包括氮气、氦气和氢气。

4.根据权利要求3所述的多层石墨烯污点拍照检测装置，其特征在于，所述扁平激光发生器产生宽为1mm、厚度为10um的偏平激光；所述圆头激光发生器产生半径为10um的柱形激光。

5.根据权利要求3所述的多层石墨烯污点拍照检测装置，其特征在于，所述升降器高、中、低三个档位，分别对应不同速度；低速档的移动速度为5cm/min。

6.根据权利要求3所述的多层石墨烯污点拍照检测装置，其特征在于，所述密封罩为不透明密封罩；在密封罩上设有可开闭的观察口。

7.根据权利要求1-6任一项所述的多层石墨烯污点拍照检测装置，其特征在于，多层石墨烯污点拍照检测装置的控制系统包括：

控制单元，包括控制器；

扫描单元，包括扫描机构，扫描机构包括激光器、升降器，激光器包括一扁平激光发生器、一圆头激光发生器及凹形的激光接收槽、及设于激光接收槽内侧的若干激光传感器；激光器升降至指定位置后，带形激光器产生宽为1mm、厚度为10um的偏平激光，激光经石墨烯反射后由激光接收槽内指定区域的激光传感器接收；非指定区域内的激光传感器接收到激光或指定区域内的激光传感器接收到的激光强度变化超过设定值时，则打开圆头激光发生器产生半径为10um的柱形激光，柱形激光沿带形激光的宽度方向扫描，柱形激光经石墨烯和反射镜反射激光传感器上，便于计算出石墨烯上带污点的位置；

操作单元，包括移动台和上设置在移动台上的固定器和反射镜，移动台上设置有横向移动器和纵向移动器，移动台及光屏与控制器电连接；固定器用于固定石墨烯，反射镜设于石墨烯下方，光屏设于固定器的侧边，用于产生单色光；移动台移动时，使设于固定器上的石墨烯水平移动，反射激光至激光传感器；

拍照单元，包括拍照机构，拍照机构包括照相机、设于照相机镜头处的伸缩装置、及可移动的放大镜、及光屏；放大镜可移动至伸缩装置前端，便于拍照；反射光屏产生的单色光由照相机拍照；

真空单元，包括密封罩、抽真空器及鼓风器；抽真空器包括真空电机、出气口、抽气口和设置在出气口与抽气口之间的单向阀；鼓风器包括氮气罐、电磁阀、及鼓风头，鼓风头由控制器控制转动；在抽气口处还通过电磁阀连接有氮气罐；密封罩配合机架将扫描单元、操作单元、及拍照单元密封；氮气罐内包括了氮气、氦气和氢气；图像处理单元，用于对拍照单元采集到的图片进行图像处理；

控制单元分别与扫描单元、操作单元、拍照单元、及真空单元、图像处理单元相连，并用于控制各单元。