[实用新型]一种乙硅烷低温精馏装置

权利要求书

1.一种乙硅烷低温精馏装置，其特征在于，包括第一精馏塔釜和第二精馏塔釜，所述的第一精馏塔釜和第二精馏塔釜的塔顶分别连接有第一冷凝器和第二冷凝器，塔底分别连接有第一再沸器和第二再沸器，第一精馏塔的塔顶液出口与废液回收罐相连，第一精馏塔的塔釜液出口与出料管相连，所述的出料管分为2路，一路并入反应釜的进料管，另一路与第二精馏塔的进料口相连，第二精馏塔的塔顶出料口与为反应釜供料的液氨储罐相连，第二精馏塔的塔釜出料口与乙硅烷储罐相连。

2.根据权利要求1所述的一种乙硅烷低温精馏装置，其特征在于，出料管外包覆有保温层。

3.根据权利要求1所述的一种乙硅烷低温精馏装置，其特征在于，出料管与第二精馏塔的进料口相连的这一支路上沿着料液流动的方向依次设置有流量计和调节阀。

4.根据权利要求1所述的一种乙硅烷低温精馏装置，其特征在于，所述的第一冷凝器、第二冷凝器、第一再沸器和第二再沸器均为列管式换热器。