[实用新型]一种用于改善区熔硅单晶成晶的新型保温筒有效
| 申请号: | 201520812346.1 | 申请日: | 2015-10-19 |
| 公开(公告)号: | CN205035489U | 公开(公告)日: | 2016-02-17 |
| 发明(设计)人: | 娄中士;涂颂昊;郝大维;杨旭洲;刘琨;刘铮;王彦君;由佰玲;张雪囡 | 申请(专利权)人: | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 主分类号: | C30B13/16 | 分类号: | C30B13/16;C30B29/06 |
| 代理公司: | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人: | 陈雅洁 |
| 地址: | 300384 天津市滨海新区*** | 国省代码: | 天津;12 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 改善 区熔硅单晶成晶 新型 保温 | ||
1.一种用于改善区熔硅单晶成晶的新型保温筒,其特征在于:包括保温筒本体(1),所述本体(1)为一直径从下到上逐渐变小的锥形筒体,所述筒体的壁厚为1-5mm,所述筒体的上口内壁直径为200-340mm,下口内壁直径为220-450mm,所述筒体的高度为20-200mm,所述筒体底端的外侧面设置有环形的冷却水路(2),所述冷却水路上设有进水口(3)和出水口(4)。
2.根据权利要求1所述的用于改善区熔硅单晶成晶的新型保温筒,其特征在于:所述筒体相对水平面的倾斜角度为50-85度。
3.根据权利要求1所述的用于改善区熔硅单晶成晶的新型保温筒,其特征在于:所述本体(1)的材质为金属。
4.根据权利要求3所述的用于改善区熔硅单晶成晶的新型保温筒,其特征在于:所述本体(1)的材质为铜或钨或钼。
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