[实用新型]一种离线玻璃基板翘曲检测装置

说明书

技术领域

本实用新型属于玻璃基板精密测量设备领域，具体涉及一种离线玻璃基板翘曲检测装置。

背景技术

在液晶玻璃基板下拉法成型过程中，有专用的辊子将玻璃基板拉成所需要的厚度，在此拉制过程中玻璃基板表面会产生凸凹不平翘曲现象，基于玻璃基板产品品质规格要求，需要通过翘曲测量设备检测玻璃基板的翘曲数据。测量原理就是测定玻璃基板上各待测点的相对高度，然后计算最高点与最低点之间的差值，差值的大小反应出整板翘曲大小。

现有玻璃基板翘曲检测装置，其结构包括花岗石检测平台、激光探针、XYZ向位移机构。由于生产出的玻璃基板表面并不是绝对平整，当放置在花岗石检测平台上时会使玻璃基板下端面与检测平台上端面之间夹持一定量的空气，在激光探针检测玻璃基板翘曲度时造成测量误差。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种离线玻璃基板翘曲检测装置，通过对检测平台的放置面进行改进，解决了待检玻璃基板下端面与检测平台上端面之间夹持空气的问题，提高了装置的测量精度。

本实用新型采用的技术方案：一种离线玻璃基板翘曲检测装置，结构中包括检测平台以及借助于位移机构设置在检测平台上方的检测机构，其关键在于：所述检测平台的材质为大理石、其上端面设有待检玻璃基板的放置槽，在放置槽内均匀排列有与放置槽深度等高的凸台。

放置槽的长度和宽度均大于待检玻璃基板。

凸台水平截面的形状为方形，或圆形，或三角形。

凸台上端面的表面粗糙度等级为00级。

位移机构包括支架、设置在支架上的X向位移导轨、设置在X向位移导轨上的Z向位移导轨以及设置在Z向位移导轨上的Y向位移导轨，所述检测机构设置在Y向位移导轨上。

检测机构为激光探针，激光探针的输出端与控制系统的显示装置的输出端连接。

采用本实用新型产生的有益效果：本实用新型通过在检测平台上设置放置槽以及在放置槽内均匀排列设置凸台，这两项技术改进，解决了待检玻璃基板下端面与检测平台上端面之间夹持空气的问题，提高了装置的测量精度。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是待检玻璃基板在检测平台上放置的剖视示意图；

附图中：1是检测平台，1-1是放置槽，1-2是凸台，2是待检玻璃基板，3-1是支架，3-2是X向位移导轨，3-3是Z向位移导轨，3-4是Y向位移导轨，4是检测机构。

具体实施方式

参看附图1-2，一种离线玻璃基板翘曲检测装置，结构中包括检测平台1以及借助于位移机构设置在检测平台1上方的检测机构4，其关键在于：所述检测平台1的材质为大理石、其上端面设有待检玻璃基板2的放置槽1-1，在放置槽1-1内均匀排列有与放置槽1-1深度等高的凸台1-2。放置槽1-1的长度和宽度均大于待检玻璃基板2；凸台1-2水平截面的形状为方形，或圆形，或三角形；凸台1-2上端面的表面粗糙度等级为00级。当待检玻璃基板2放置在检测平台1上的放置槽1-1内时，待检玻璃基板2的下端面与凸台1-2的上端面接触，由于待检玻璃基板2自重，待检玻璃基板2的下端面与凸台1-2的上端面之间的空气从凸台1-2间的间隙排出，使凸台1-2的上端面与待检玻璃基板2的下端面完全贴合，保证了检测机构4检测待检玻璃基板2翘曲度的准确性，测得相对真实、准确的参数值；并且借助于凸台1-2的设置，降低了待检玻璃基板2与检测平台1之间的摩擦系数，防止待检玻璃基板2与检测平台1之间产生吸附现象，影响待检玻璃基板2真实翘曲度。

位移机构3包括支架3-1、设置在支架3-1上的X向位移导轨3-2、设置在X向位移导轨3-2上的Z向位移导轨3-3以及设置在Z向位移导轨3-3上的Y向位移导轨3-4，所述检测机构4设置在Y向位移导轨3-4上。支架3-1设置在检测平台1的四周，X向位移导轨3-2设置在支架3-1上、并位于检测平台1的两侧；X向位移导轨3-2、Z向位移导轨3-3和Y向位移导轨3-4为滑轨与滑块构成的导向轨或滚珠丝杠。

检测机构4为激光探针，激光探针的输出端与控制系统的显示装置的输出端连接。

在具体实施时，在待检玻璃基板2翘曲检测过程中，待检玻璃基板2被放置在检测平台1上的放置槽1-1内时，待检玻璃基板2的下端面与凸台1-2的上端面完全贴合接触；借助于X向位移导轨3-2、Z向位移导轨3-3和Y向位移导轨3-4，检测机构4按等距离检测放置在检测平台1上的待检玻璃基板2各个部位的翘曲度，进而可根据测得相对准确的参数值对生产的玻璃基板进行把控。