[实用新型]一种探针卡

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种探针卡，应用于微电子技术领域。

背景技术

微电子技术是随着集成电路，尤其是超大型规模集成电路而发展起来的一门新的技术。微电子技术包括系统电路设计、器件物理、工艺技术、材料制备、自动测试以及封装、组装等一系列专门的技术，微电子技术是微电子学中的各项工艺技术的总和。微电子技术中，半导体硅片在完成所有制程工艺后，需要针对硅片上的各种测试结构进行电性测试，即晶片允收测试(WAT测试，WaferAcceptanceTest)。通过对WAT数据的分析，可以发现半导体制程工艺中的问题，帮助制程工艺进行调整。通常，在晶圆制程完成后，对晶圆进行晶片允收测试。通过探针卡上的探针与晶圆芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的。探针卡通常需要固定在探针台上，探针卡的取放工作显得非常重要。现有技术的探针台向下凹陷，形成与探针卡相对应的圆槽，即探针卡放置区域。为了方便取放探针卡，在圆槽边缘上设置有凹槽，同时，在圆槽底部设置有凸起的固定点，用于固定探针卡。由于凹槽的深度与探针卡的厚度相同，同时探针卡表面没有把手或其他着力点，使得探针卡的取放非常不方便，还容易将置于探针卡及探针台之间的防漏电纸连带取出，需要花费大量时间和精力重新放置，也可能造成防漏电纸被撕坏，导致更多的颗粒污染。而且，在将探针卡通过固定点固定时，只能通过凹槽调节位置，非常不便。采用现有技术，在取放探针卡时需要花费大量的时间和精力，工作效率低。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种能够进行快速、便捷取放的探针卡。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案予以实现：一种探针卡，包括PCB基板和取放杆，所述PCB基板上设置有连接孔，所述连接孔与取放杆连接。

优选的，所述取放杆与连接孔采用可拆卸式连接或固定连接。

优选的，所述连接孔的数量为2个，分别位于PCB基板中心的两侧。

优选的，所述取放杆采用截面为T形的柱体。

进一步的，所述柱体包括连接在一起的下圆柱和上圆柱，所述下圆柱直径与连接孔直径相互固定配合。

进一步的，所述下圆柱直径为3～5mm，高度为10～12mm，所述上圆柱直径为13～15mm，高度为5～7mm。

优选的，所述PCB基板上设置有PCB线路和探针，所述探针和PCB线路连接且分别位于PCB基板的两个面上，所述PCB基板上设置有固定孔，所述固定孔与探针台上的固定件相对应。

进一步的，所述固定孔和连接孔与PCB线路彼此独立。

进一步的，所述固定孔的数量为2个，分别位于PCB基板中心的两侧。

优选的，所述取放杆采用有机玻璃材料。

与现有技术相比，本实用新型的探针卡在PCB基板的连接孔上连接取放杆，通过取放杆连接整个探针卡，在取放探针卡时，只需要通过取放杆进行施力，即可带动整个探针卡进行移动，也可以通过取放杆调整探针卡的位置。本实用新型结构简单，操作方便，节省了取放探针卡的时间和精力，具有快速、便捷取放的效果，提高了工作效率。

附图说明

图1是本实用新型一实施例中探针台的结构示意图；

图2是本实用新型一实施例中柱体的结构示意图；

图3是本实用新型一实施例中柱体的结构示意图。

图中所示：10、PCB基板；20、取放杆；21、上圆柱；22、下圆柱；30、固定孔。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作详细描述：

如图1所示，本实用新型的探针卡，包括PCB基板10、PCB线路、探针和取放杆20，所述PCB基板10上设置有PCB线路和探针，所述探针和PCB线路连接且分别位于PCB基板10的两个面上，所述PCB基板10上设置有固定孔30和连接孔，所述固定孔30与探针台上的固定件相对应，所述连接孔与取放杆20连接。所述固定孔30的数量为2个，分别位于PCB基板10中心的两侧。所述连接孔的数量为2个，分别位于PCB基板10中心的两侧。在测试时，探针卡固定放置在探针台上，PCB线路面朝上，与周边测试仪器连接，探针面朝下，与晶圆上的集成电路接触连接，共同构成晶片允收测试的电路。