[实用新型]膜厚的检测装置

权利要求书

1.一种膜厚的检测装置，其特征在于，所述检测装置包括：

电源，用于提供电信号；

公共电极(12)，与所述电源电连接；

至少一个检测电极(22)，与所述公共电极(12)在第一方向上相对且间隔设置，所述公共电极(12)与各所述检测电极(22)之间的间隔构成待测膜的传输通道，所述第一方向与第一平面垂直，所述第一平面与所述待测膜的移动方向平行；以及

检测电路(25)，与所述检测电极(22)电连接，用于检测所述检测电极(22)的感应电信号。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括：

第一基板(11)；

第二基板(21)，与所述第一基板(11)在所述第一方向上间隔设置，所述第一基板(11)的第一表面朝向所述第二基板(21)的第一表面，

且所述第一基板(11)的第一表面与所述第二基板(21)的第一表面均平行于所述第一平面，所述公共电极(12)设置在所述第一基板(11)的第一表面上，所述检测电极(22)设置在所述第二基板(21)的第一表面上，所述检测电路(25)设置在所述第二基板(21)的第二表面。

3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括：

第一屏蔽电极(13)，设置在所述第一基板(11)的第一表面上，并且围绕所述公共电极(12)设置；以及

第二屏蔽电极(23)，设置在所述第二基板(21)的第一表面上，并且围绕所述检测电极(22)设置。

4.根据权利要求3所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置中包括N个检测电极对(2)，且N个所述检测电极对(2)沿第二方向间隔设置，所述第二方向与所述待测膜的移动方向垂直，所述第二方向与所述第一方向垂直，且每个所述检测电极对(2)包括沿第三方向间隔设置的至少2个检测电极(22)，所述第三方向与所述第一方向垂直，且所述第三方向为所述待测膜的移动方向，所述N≥2。

5.根据权利要求4所述的检测装置，其特征在于，每个所述检测电极对(2)中的相邻2个所述检测电极(22)的间隔小于每个所述检测电极(22)在所述第三方向上的长度。

6.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括：

输入部(14)，用于将所述电源的电信号输入至所述公共电极(12)，所述输入部(14)设置在所述第一基板(11)的第二表面；以及

输入输出部(24)，用于向所述检测电路(25)提供电压，且将所述检测电路(25)的电信号输出，所述输入输出部(24)设置在所述第二基板(21)的第二表面。

7.根据权利要求6所述的检测装置，其特征在于，所述检测电路(25)包括：

采样单元(251)，输入端与所述检测电极(22)电连接；

阻抗匹配单元(252)，一端与所述采样单元(251)的输出端电连接；以及

放大单元(254)，一端与所述阻抗匹配单元(252)的另一端电连接，另一端与所述输入输出部(24)电连接。

8.根据权利要求7所述的检测装置，其特征在于，所述检测电路(25)还包括输出单元(255)，所述输出单元(255)设置在所述放大单元(254)与所述输入输出部(24)之间。

9.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所有所述检测电极(22)围成的区域在所述第一平面的投影面积小于等于所述公共电极(12)的第一表面的面积。

10.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，当所述检测装置包括一个检测电极(22)时，所述检测电极(22)在第二方向上的总长度大于等于所述待测膜的长度；当所述检测装置包括沿所述第二方向依次设置的M个所述检测电极对(2)时，第一个所述检测电极对(2)与第M个所述检测电极对(2)在所述第二方向之间的距离大于等于所述待测膜的长度，所述第二方向与所述待测膜的移动方向垂直，其中所述M≥2。