[实用新型]一种快速制备材料的微波等离子反应装置

权利要求书

1.一种快速制备材料的微波等离子反应装置，其特征在于：包括真空调节系统、等离子体激发装置和反应器，所述反应器的反应区置于等离子体激发装置内，所述真空调节系统包括抽气装置、抽气管路和工作气接入管路，所述工作气接入管路和抽气管路分别与反应器的进气端和出气端密闭连接，所述抽气管路还与抽气装置连接，在所述抽气管路和工作气接入管路上设置有气体调节阀。

2.根据权利要求1所述的一种快速制备材料的微波等离子反应装置，其特征在于：在靠近所述反应器出气端的抽气管路上设置有真空计。

3.根据权利要求2所述的一种快速制备材料的微波等离子反应装置，其特征在于：所述抽气管路包括通过法兰接口连接的第一连接管和第二连接管，所述第一连接管通过真空密封连接头与反应器的出气端连接，所述第二连接管与抽气装置连接。

4.根据权利要求3所述的一种快速制备材料的微波等离子反应装置，其特征在于：所述第一连接管上设置有一个气体调节阀。

5.根据权利要求3所述的一种快速制备材料的微波等离子反应装置，其特征在于：所述第一连接管上设置三通接口，所述真空计通过管路与三通接口连接。

6.根据权利要求1所述的一种快速制备材料的微波等离子反应装置，其特征在于：所述工作气接入管路包括通过法兰接口连接的第三连接管和第四连接管，所述第三连接管通过真空密封连接头与反应器的进气端连接，第四连接管用于连接工作气供气装置，所述第三连接管上设置有一个气体调节阀。

7.根据权利要求1所述的一种快速制备材料的微波等离子反应装置，其特征在于：所述等离子体激发装置包括微波源、开关及微波腔室，所述反应器的反应区置于微波腔室内。

8.根据权利要求1所述的一种快速制备材料的微波等离子反应装置，其特征在于：所述反应器为U型管结构。

9.根据权利要求1所述的一种快速制备材料的微波等离子反应装置，其特征在于：所述反应器包括左右通气管以及连接在左右通气管之间的反应腔体，所述反应腔体为球形或由多个相连的椭圆形腔室构成。

10.根据权利要求1所述的一种快速制备材料的微波等离子反应装置，其特征在于：所述所述抽气装置为机械泵。