[实用新型]一种具有两支撑悬梁六层结构的电阻式气体传感器

权利要求书

1.一种具有两支撑悬梁六层结构的电阻式气体传感器，所述电阻式气体传感器的六层结构自下而上依次为：

硅衬底框架，其内凹形成隔热腔体，所述硅衬底框架上分布有供电电极、探测电极；

加热膜层，其包括加热膜区、过渡区和支撑悬梁，所述加热膜层悬浮于所述隔热腔体的上方，所述加热膜区的两端分别与过渡区连接，所述过渡区的两端分别与支撑悬梁的一端连接，所述支撑悬梁的另一端与硅衬底框架连接；

加热层，其包括加热电阻丝和供电引线，所述加热电阻丝以折线形式排布在所述加热膜区上，所述供电引线排布在所述支撑悬梁上；

隔离层，其包裹所述加热层；

电极层，其包括叉指电极和探测引线，所述叉指电极位于所述隔离层上；

敏感膜层，其覆盖在所述电极层上，并且与所述叉指电极电性连接；

其特征在于，所述敏感膜层包括两层以上敏感膜，各层敏感膜逐层电性连接，所述各层敏感膜自下而上，其比表面积逐渐减小、孔隙尺寸逐渐增大。

2.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述孔隙为球形结构，最内层孔隙的内径大于10纳米，最外层孔隙的内径小于10微米。

3.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述隔热腔体的形状为横截面呈倒梯形结构、V字型结构或圆弧形结构。

4.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述加热层的加热电阻丝通过所述供电引线与硅衬底框架上的所述供电电极相连。

5.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述电极层的叉指电极通过所述探测引线与所述硅衬底框架上的探测电极相连。

6.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述加热膜区的形状为矩形，所述过渡区的形状为等腰梯形，且所述等腰梯形的下底边与矩形加热膜区的短边相连，所述等腰梯形的上底边与支撑悬梁相连。