[实用新型]一种扫描电镜测试平台

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种扫描电镜测试平台，尤其适用于测试磁性材料的样品。

背景技术

现有技术中，扫描电镜是一种样品制备简单、分辨高、综合分析能力强的测试分析设备，目前广泛应用于各类材料的表面和截面微观分析。其中，样品台是扫描电镜设备的核心部件，其一般为铝制的圆形平台。在样品表面测试时，以薄片型样品为例，通常通过导电胶将样品粘贴于样品台面上做观察。而要对样品做截面测试，需要在样品台的四周贴上导电胶，再将样品贴于平台侧边上。

目前，由于电镜的镜头在通电时会产生磁场，为了避免测试样品被磁力吸在镜头上损坏电镜，所以对于铁钴镍等磁性材料的金属片或金属块，在对其进行表面形貌观察或者EDS成分扫描时，需要测试者根据经验在测试样品周围贴满导电胶，操作非常繁琐，而且具有相当的风险。因此，目前通常不对这些材料做任何电镜测试。

发明内容

本实用新型的发明目的是提供一种扫描电镜测试平台，适用于测试磁性材料的样品。

为达到上述发明目的，本实用新型采用的技术方案是：一种扫描电镜测试平台，包括样品平台，所述样品平台上层叠设有活动连接的测试辅助平台，并通过限位机构对所述测试辅助平台的位置进行限定，所述测试辅助平台上设有测试孔。

上述技术方案中，所述样品平台和测试辅助平台上以平台纵轴为对称轴分别对称设有一对对称的螺孔，所述样品平台和测试辅助平台经螺丝固定连接。

上述技术方案中，所述限位机构包括设于样品平台上的至少2个定位片和设于测试辅助平台上对应于所述定位片的定位片孔。

上述技术方案中，所述测试孔至少有2个，以平台中心为圆心沿圆周均匀分布于测试辅助平台上。

优选的，所述测试孔的直径为0.5~5mm。所述测试孔的大小既要方便测试，又要小于样品，以起到防止样品被吸气损坏镜头。

优选的，所述测试孔的直径为2mm。

本实用新型的测试平台在使用时，在样品平台上找好对应位置用导电胶沾好样品，将定位片孔和定位片对齐使得测试辅助平台和样品平台重叠在一起，再用螺丝穿过螺孔进行固定，电镜可以通过测试孔找到待测的磁性样品进行测试。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

1.本实用新型通过在样品平台上活动设置测试辅助平台，并在测试辅助平台上设置测试孔，在测试磁性样品时，不会因电镜镜头通电产生的磁场将样品吸气而损坏镜头。

2.本实用新型结构简单，操作方便，不需要考虑测试人员的经验。

附图说明

图1是实施例一中本实用新型的结构示意图。

图2是实施例一中本实用新型的样品平台的结构示意图。

图3是实施例一中本实用新型的测试辅助平台的结构示意图。

图4是图3的侧面剖视图。

其中：1、样品平台；2、测试辅助平台；3、定位片；4、定位片孔；5、螺孔；6、测试孔。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：

实施例一：

参见图1至4所示，一种扫描电镜测试平台，包括样品平台1，所述样品平台上设有活动连接的测试辅助平台2，并通过限位机构对测试辅助平台位置进行限定，所述测试辅助平台上设有测试孔6。

所述样品平台和测试辅助平台上以平台纵轴为对称轴分别对称设有一对对应的螺孔5，所述样品平台和测试辅助平台经螺丝固定。

所述限位机构包括设于样品平台上的两个定位片3和设于测试辅助平台上对应于定位片的定位片孔4，所述定位片以平台纵轴为对称轴对称设置，将定位片孔和定位片对齐使得测试辅助平台和样品平台重叠在一起。

所述测试孔以平台中心为圆心沿圆周均匀分布于测试辅助平台上，测试孔数目设为四个。