[实用新型]运动工件飞秒激光加工中椭圆运动曝光系统

权利要求书

1.一种运动工件飞秒激光加工中椭圆运动曝光系统，飞秒激光器、经衰减器、光快门、扩束镜、反射镜一、光阑、反射镜二、反射镜三、分束镜、聚焦物镜顺序光连接，数字摄像机和凸透镜位于分束镜上方，运动台位于聚焦物镜的下方，照明光源和反射镜位于运动台下方，其特征在于：椭圆运动工作台位于运动台上方。

2.根据权利要求1所述的一种运动工件飞秒激光加工中椭圆运动曝光系统，其特征在于：所述椭圆运动工作台的结构是：侧挡板一通过螺钉三、螺钉四与底板连接，侧挡板二通过螺钉五、螺钉六与底板连接，具有铰链结构的工作台的固定端一通过螺钉七、螺钉八安装在侧挡板一之上；固定端二通过螺钉九、螺钉十安装在侧挡板二之上，X向压电叠堆一通过预紧螺钉一与X向驱动块顶接，Y向压电叠堆二通过预紧螺钉二与Y向驱动块顶接，Z向挡块通过固定螺钉一、固定螺钉二固定在X向驱动块上，Z向压电叠堆三安装在Z向挡块之上，通过下部预紧螺钉三与载物台顶接；X向位移传感器与X向压电叠堆一方向一致，安装在X向压电叠堆一一侧通孔内，由紧固螺钉三固定；Y向位移传感器与Y向压电叠堆二方向一致，安装在Y向压电叠堆二一侧通孔内，由紧固螺钉四固定；Z向位移传感器与Z向压电叠堆三方向一致，安装在Z向挡块之上，在Z向压电叠堆三一侧，由紧固螺钉五固定。

3.根据权利要求2所述的一种运动工件飞秒激光加工中椭圆运动曝光系统，其特征在于：所述具有铰链结构的工作台由载物台、X向驱动块、Y向驱动块、固定端一、固定端二通过它们之间的柔性铰链连接而成，所述载物台通过柔性铰链一、柔性铰链二、柔性铰链三、柔性铰链四与X向驱动块相接，X向驱动块由复合铰链一、复合铰链二、复合铰链三、复合铰链四与Y向驱动块相连接，复合铰链一与复合铰链二相对于主体Y向中心位置为对称结构，复合铰链三与复合铰链四相对于主体Y向中心位置为对称结构；复合铰链一与复合铰链二、复合铰链三与复合铰链四对称分布在X向驱动块两端，与Y向驱动块相连接，复合铰链五与复合铰链六相对于主体X向中心位置为对称结构，复合铰链七与复合铰链八相对于主体X向中心位置为对称结构，复合铰链五与复合铰链六、复合铰链七与复合铰链八对称分布在Y向驱动块两端，两侧分别与固定端一、固定端二相连接。

4.根据权利要求3所述的一种运动工件飞秒激光加工中椭圆运动曝光系统，其特征在于：所述复合铰链一、复合铰链二、复合铰链三或复合铰链四分别由四个直梁型铰链首尾相连组成。