[实用新型]一种效能侦测装置

权利要求书

1.一种效能侦测装置，应用于抛光垫整修装备和抛光垫整修器上，所述抛光垫整修器用于对抛光垫进行整修，所述抛光垫整修装备包括固定盘和电动机，所述抛光垫整修器位于所述固定盘的下方，并与所述固定盘连接，其特征在于，

所述效能侦测装置包括速率侦测装置和位移侦测装置，所述速率侦测装置包括速率传感器和发光二极管，所述位移侦测装置包括第一位移传感器和第二位移传感器；所述速率侦测装置位于所述固定盘和所述抛光垫整修器的侧面，并对准所述抛光垫整修器；所述位移侦测装置位于所述固定盘的上方，并对准所述固定盘和所述抛光垫。

2.根据权利要求1所述的一种效能侦测装置，其特征在于，所述速率侦测装置位于所述抛光垫整修器的侧面，所述发光二极管向所述抛光垫整修器发送光源信号，所述光源信号经所述抛光垫整修器的侧面，反射到所述速率传感器上。

3.根据权利要求2所述的一种效能侦测装置，其特征在于，所述位移侦测装置位于所述固定盘的上方；所述第一位移传感器位于所述位移侦测装置背向所述固定盘的一侧，并对准所述抛光垫；所述第二位移传感器位于所述位移侦测装置朝向所述固定盘的一侧，并对准所述固定盘。

4.根据权利要求3所述的一种效能侦测装置，其特征在于，所述效能侦测装置还包括处理器，所述抛光垫整修装备还包括电动机；所述处理器分别与所述速率传感器和所述电动机连接。

5.根据权利要求4所述的一种效能侦测装置，其特征在于，所述处理器还与所述位移侦测装置连接；所述处理器分别与所述第一位移传感器和所述第二位移传感器连接。