[实用新型]一种镀膜夹具有效
| 申请号: | 201520734291.7 | 申请日: | 2015-09-21 |
| 公开(公告)号: | CN205088300U | 公开(公告)日: | 2016-03-16 |
| 发明(设计)人: | 郑贺;汪爱英;柯培玲;张栋;李晓伟;陈仁德 | 申请(专利权)人: | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
| 代理公司: | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人: | 单英 |
| 地址: | 315201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 镀膜 夹具 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种膜夹具,可牢固夹装待镀膜产品,使其在镀膜过程中不易脱落,并且镀膜较均匀,保证端面的膜层厚度。
背景技术
普通产品进行PVD镀膜一般采用单面镀膜形式,以保证产品主要工作面镀膜均匀。但在某些使用工况下,产品除底面以外其他面均需镀膜,例如除底面以外其他面均与摩擦副接触而受到摩擦损耗,需要镀膜以降低摩擦损耗,因此单面镀膜不能满足该工况环境下的服役需求。
对产品进行多面镀膜时通常采用将产品底面水平放置在可旋转的圆盘支架表面,并且使用夹子或胶将产品固定在圆盘支架表面。但是,这种方法的不足之处如下:
(1)为了使产品固定在圆盘支架表面,圆盘一般采用水平旋转,镀膜设备通常设置在圆盘侧面,镀膜材料一般自圆盘侧面喷涂或者沉积,这就容易导致镀膜后产品端面(所述端面是指与底面相对的面)的膜层厚度小于周围侧面的膜层厚度,镀膜不均匀,从而不符合那些要求端面具有厚膜层的实际工况要求;
(2)采用夹子等夹具将产品固定在圆盘支架表面时,产品的端面或周围侧面会产生由于夹具遮挡而导致的未镀膜区域,从而不能真正实现多面完整涂覆;
(3)采用固化胶将产品固定在圆盘支架表面时存在的问题是:(1)固化工艺较复杂,固化时间长;(2)与机械固定相比,固定的牢固性较差,产品在镀膜过程中易脱落;(3)由于胶体不耐高温,因此这种固定方式不适宜较高温度条件下的镀膜过程。
实用新型内容
针对上述技术现状,本实用新型旨在提供一种镀膜夹具,该夹具不仅结构简单,可牢固夹装产品,使其在镀膜过程中不易脱落,并且镀膜较均匀,保证端面的膜层厚度。
为了实现上述技术目的,本实用新型所采用的技术方案为:一种镀膜夹具,包括可水平旋转(即,转动杆的转动轴垂直于水平面)的转动杆,以及与转动杆相连接的平面支架,其特征是:所述转动杆的转动轴与支架平面形成的夹角大于或者等于0°;所述镀膜夹具还包括磁性体,所述磁性体固定连接支架平面,所述的待镀膜产品的底面磁力吸附在磁性体表面,使底面法线与竖直垂线间的夹角大于或者等于0°。
作为优选,所述转动杆的转动轴与支架平面形成的夹角大于或者等于45°;进一步优选,所述转动杆的转动轴与支架平面形成的夹角为90°。
作为优选,所述带镀膜产品的底面法线与竖直垂线间的夹角大于或者等于45°;进一步优选,所述带镀膜产品的底面法线与竖直垂线间的夹角为90°。
所述支架的平面形状不限,包括圆形、方形、三角形等。
所述磁性体的形状不限,包括立方体、圆柱体等。
作为优选,所述的平面支架与转动杆相固定连接。
与现有技术相比,本实用新型具有如下有益效果:
(1)采用磁性体将待镀膜产品与平面支架相连,此种连接方式无遮挡,可实现多面完整涂覆,并且连接简单、牢靠,不宜脱落;
(2)待镀膜产品的底面法线与竖直垂线间形成一定夹角,当镀膜材料一般自圆盘侧面喷涂至待镀膜产品的端面与周围侧面,或者沉积至镀膜产品的端面与周围侧面时,可兼顾待镀膜产品的端面,降低端面与的周围侧面的膜层厚度差。当端面要求具有厚膜层时,可调节转动杆的转动轴与支架平面之间的夹角和/或待镀膜产品与磁性体的连接位置,使待镀膜产品的底面法线与竖直垂线间的夹角大于等于45°,更优选为90°,从而保证端面的喷涂或沉积量。
(3)该镀膜夹具构造简单,便于装取产品与维护,减少工时,提高效率。
附图说明
图1是本实用新型实施例1中镀膜夹具的俯视结构示意图;
图2是本实用新型实施例1中镀膜夹具的沿AA’线的剖视图;
图3是本实用新型实施例1中待镀膜产品的顶端面与周围侧面示意图。
具体实施方式
下面结合附图与实施例,进一步阐明本实用新型。应理解的是,这些实施例仅用于说明本实施例,而不用于限制本实施例的范围。
图1-3中的附图标识为:1、转动杆;2、支架;3、磁性体;4、待镀膜产品。
实施例1:
本实施例中,待镀膜产品为六面体产品,如图3所示,除底面以外,其他五面,即顶端面与周围侧面均需镀膜。顶端面呈长方形,周围侧面为两组相对面,每组相对面的形状完全相同,其中一组相对面的面积较大,称为大平面,另一组相对面呈长方体形状,面积较小,称为小平面。
如图1所示,镀膜夹具包括转动杆1、支架2,以及若干个磁性体3。
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