[实用新型]前侧图像传感器

权利要求书

1.一种前侧图像传感器，其特征在于，包括：

衬底，在半导体材料中；

有源层，在半导体材料中；

光电二极管的阵列，形成在所述有源层中；以及

绝缘层，在所述衬底和所述有源层之间。

2.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述绝缘层是具有被选择为在可见范围 内反射光子的厚度的氧化硅层。

3.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，进一步包括，在所述绝缘层和所述有源 层之间的、与所述有源层具有相同导电类型的中间层，所述中间层具有比所述有源层更高 的掺杂水平。

4.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，在工作中，所述衬底被偏置在低于所述 有源层电压的电压处。

5.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述衬底和所述绝缘层是SOI衬底的整 体部分。

6.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，包括：

钝化层，在所述有源层上；

彩色滤光器的阵列，在所述钝化层上；以及

准直透镜的阵列，在所述滤光器阵列上。