[实用新型]一种紫外远心激光扫描镜头

说明书

技术领域

本实用新型涉及光学镜头领域，特别涉及一种紫外远心激光扫描镜头。

背景技术

由于激光的诸多优点，越来越多的被应用到我们的生活当中，特别是在工业应用当中，例如激光打标、激光切割、激光钻孔、激光焊接、印刷、医疗、照明等都得到广泛应用。

而激光扫描镜头就是其中一些应用当中的一个关键部分，它的作用就是聚焦成像，把平行入射光聚焦成高能量激光束对工件局部照射来进行工作。

传统的扫描镜头，各个视场的像方主光线在焦平面上的入射角会随着视场的增大而增大，使得在焦平面上的成像点变形，如果是激光钻孔的话，那么边缘与中心的孔就会不一致。远心激光扫描镜头就是经过一些设计，使得各个视场的像方主光线可以垂直入射到焦平面上，形成中心与边缘较一致的聚焦效果。另外不同的加工件材料需要使用不同波长的激光来进行加工，柔性线路板的加工使用紫外（UV）激光。

发明内容

本实用新型目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种利用紫外激光进行材料加工的紫外远心激光扫描镜头。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种紫外远心激光扫描镜头，包括光阑、第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜以及第五透镜，同一轴心。沿光传播方向从左至右依次为光阑、第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜以及第五透镜，其中所述第一透镜为凹面朝向入射光的弯月型负透镜，第二透镜、第三透镜和第四透镜均为凹面朝向入射光的弯月型正透镜，第五透镜为双凸型正透镜。

本实用新型还可以：光阑距离第一透镜前方25mm-45mm。

本实用新型还可以：所述的第一透镜为凹面朝向入射光方向的弯月型负透镜，R1=-26.3mm，R2=-350.4mm，中心厚度d1=5mm，材料为紫外熔融石英玻璃；第二透镜为凹面朝向入射光的方向的弯月型正透镜，R3=-81mm，R4=-45mm，中心厚度d2=13mm，材料为紫外熔融石英玻璃；第三透镜为凹面朝向入射光方向的弯月型正透镜，R5=-300.2mm，R6=-60.08mm，中心厚度d3=11.5mm，材料为紫外熔融石英玻璃；第四透镜为凹面朝向入射光方向的弯月型正透镜，R7=-310.6mm，R8=-79.0mm，中心厚度d4=14mm，材料为紫外熔融石英玻璃；第五透镜为双凸型正透镜，R9=398.2mm，R10=-200.3mm，中心厚度d5=10mm，材料为紫外熔融石英玻璃。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、边缘视场的聚焦光斑与中心视场的聚焦光斑较为一致，提高了加工精度；

2、使得各个视场的像方主光线始终垂直于加工台面，在不移动加工件或工作台，一次性加工的情况下，可以扫描60mm×60mm的范围，扫描镜头焦距正好100mm；

3、使用光源为紫外(UV)激光，扩展了激光的应用范围；

4、光学系统的远心度误差保持在2.5度以下。

附图说明

图1为紫外远心激光扫描镜头结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图与具体实施方式对本实用新型做进一步详细描述。

一种紫外远心激光扫描镜头，包括光阑、第一透镜1、第二透镜2、第三透镜3、第四透镜4以及第五透镜5，同一轴心，沿光传播方向从左至右依次为光阑、第一透镜1、第二透镜2、第三透镜3、第四透镜4以及第五透镜5，其中所述第一透镜1为凹面朝向入射光的弯月型负透镜，第二透镜2、第三透镜3和第四透镜4均为凹面朝向入射光的弯月型正透镜，第五透镜5为双凸型正透镜。光阑距离所述的第一透镜1前方25mm-45mm。

所述的第一透镜1为凹面朝向入射光方向的弯月型负透镜，R1=-26.3mm，R2=-350.4mm，中心厚度d1=5mm，材料为紫外熔融石英玻璃；第二透镜2为凹面朝向入射光的方向的弯月型正透镜，R3=-81mm，R4=-45mm，中心厚度d2=13mm，材料为紫外熔融石英玻璃；第三透镜3为凹面朝向入射光方向的弯月型正透镜，R5=-300.2mm，R6=-60.08mm，中心厚度d3=11.5mm，材料为紫外熔融石英玻璃；第四透镜4为凹面朝向入射光方向的弯月型正透镜，R7=-310.6mm，R8=-79.0mm，中心厚度d4=14mm，材料为紫外熔融石英玻璃；第五透镜5为双凸型正透镜，R9=398.2mm，R10=-200.3mm，中心厚度d5=10mm，材料为紫外熔融石英玻璃。

紫外光从光阑进入，经过第一透镜1、第二透镜2、第三透镜3、第四透镜4及第五透镜5后，进行“负-正-正-正-正”的光焦变化后，出射激光束垂直的被聚焦到加工表面，形成高能量的光斑进行打标、切割、钻孔等加工操作。在不移动加工件或工作台，一次性加工的情况下，可以扫描60mm×60mm的范围，扫描镜头焦距正好100mm。