[实用新型]显影机的花篮摇摆架

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种摇摆架，具体涉及一种显影机的花篮摇摆架。

背景技术

硅片在用显影机进行显影工序时，需要先将硅片放置在花篮上，花篮上有多个用来插装硅片的插槽，然后将花篮装在摇摆架上，而花篮浸没在显影机的显影池内的显影液中，即可实施。

一方面，已有的用来承载硅片的花篮有单排插槽，有的是双排插槽，那根据不同的花篮，就要有不同的摇摆架进行配套使用，这样，就导致一种摇摆架不能适用于多种类型花篮使用，而是需要多个配套的摇摆架，因此，不仅占用空间大，而且根据不同产品在实施显影时，就需要装配不同的摇摆架，使得工作效率低。

另一方面，现有的花篮装在摇摆架上后，会因摇摆架摆动或显影液产生的浮力导致花篮会晃动，一旦花篮发生晃动，就会使得花篮上的硅片也晃动，不仅会影响硅片的显影，严重时，还会导致硅片因晃动而发生破裂的情况发生，直接造成硅片为废料。

发明内容

本实用新型所述摇摆架，是专门用来与显影机的花篮配置使用的摇摆架。

本实用新型的目的是：提供一种不仅能够适用多种类型花篮，而且能够有效防止花篮晃动，并对花篮进行锁止的显影机的花篮摇摆架，以克服现有技术的不足。

为了达到上述目的，本实用新型的技术方案是：一种显影机的花篮摇摆架，包括摆杆和用来安置花篮的花篮座，所述花篮座的一端与摆杆的底部固定连接；其创新点在于：

所述花篮座包括两个并排布置的用来支撑两端有花篮臂的花篮杆的承载臂，以及位于承载臂外侧的锁止座；每一个承载臂上均设有用来卡装2个花篮臂中的一个花篮臂的卡槽；

所述锁止座包括挡板、连接板和固定座，所述连接板的底部与固定座固定连接，挡板与连接板的顶部固定连接，且挡板位于固定座的上方，所述固定座的内侧设有用来卡装另一个花篮臂的凹槽。

在上述技术方案中，所述每一个承载臂上均设有一个或两个卡槽，所述固定座的内侧设有与一个或两个卡槽相对应的凹槽。

在上述技术方案中，所述摆杆的顶部设有铰接座，底部设有连接座，且连接座与花篮座的一端固定连接。

本实用新型所具有的积极效果是：采用本实用新型的摇摆架后，由于本实用新型所述花篮座包括两个并排布置的用来支撑两端有花篮臂的花篮杆的承载臂，每一个承载臂上均设有用来卡装2个花篮臂中的一个花篮臂的卡槽，这样，具有单排插槽的花篮或双排插槽的花篮都可与本实用新型配套使用，不仅减少了配备的辅助工装，占用空间小，而且根据不同产品在实施显影时，使得本实用新型能够适用于多种不同类型的花篮，有效提高了工作效率；又由于所述花篮座还包括位于承载臂外侧的锁止座，所述锁止座包括挡板、连接板和固定座，所述连接板的底部与固定座固定连接，挡板与连接板的顶部固定连接，且挡板位于固定座的上方，所述固定座的内侧设有用来卡装另一个花篮臂的凹槽，这样，在与花篮配套使用时，先将花篮的一个花篮臂卡装在固定座的凹槽内，再将花篮的花篮杆支撑在承载臂上，并且另一个花篮臂卡装在卡槽内，配装后的花篮杆位于挡板的下方，这样，硅片在实施显影时，就不会因摆杆的摆动或显影液产生的浮力，而导致花篮发生晃动的现象，也就使得花篮上的硅片不会晃动，使得硅片实施显影工序的质量好，也不会发生硅片因晃动而产生破裂的情况，大大减少了硅片在该工序产生废料的数量，实现了本实用新型的目的。

附图说明

图1是本实用新型一种具体实施方式的结构示意图；

图2是图1的右视示意图；

图3是图1的俯视示意图；

图4是图1的A-A剖视示意图；

图5图1的B-B剖视示意图；

图6是本实用新型一种使用状态示意图；

图7是图6的右视示意图；

图8是本实用新型另一种使用状态示意图。

具体实施方式

以下结合附图以及给出的实施例，对本实用新型作进一步的说明，但并不局限于此。

如图1、2、3、4、5、6、7、8所示，一种显影机的花篮摇摆架，包括摆杆1和用来安置花篮3的花篮座2，所述花篮座2的一端与摆杆1的底部固定连接；

所述花篮座2包括两个并排布置的用来支撑两端有花篮臂3-2的花篮杆3-1的承载臂2-1，以及位于承载臂2-1外侧的锁止座2-2；每一个承载臂2-1上均设有用来卡装2个花篮臂3-1中的一个花篮臂的卡槽2-1-1；