[实用新型]翻转机构及用以翻转多个基板的输送系统有效
| 申请号： | 201520718610.5 | 申请日： | 2015-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN204991671U | 公开（公告）日： | 2016-01-20 |
| 发明（设计）人： | 顾海泽;谢君霞;刘昌杰 | 申请（专利权）人： | 茂迪（苏州）新能源有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 215300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 翻转 机构 用以 多个基板 输送 系统 | ||
1.一种翻转机构，其特征在于，包含：
一枢轴；
多个翻转单元，沿所述枢轴的一旋转方向排列，并连接于所述枢轴；以及
多个吸嘴，设置于所述翻转单元上；
其中，所述翻转机构的两侧分别设有一第一承接区域与一第二承接区域；所述翻转单元沿所述旋转方向旋转，以所述吸嘴吸附至少一硅基板，将所述至少一硅基板由所述第一承接区域移动至所述第二承接区域。
2.根据权利要求1所述的翻转机构，其特征在于：所述翻转单元以所述枢轴为中心对称排列。
3.根据权利要求1至2中任一项所述的翻转机构，其特征在于：所述翻转单元的数量为两个。
4.根据权利要求1至2中任一项所述的翻转机构，其特征在于：所述翻转单元的数量为四个。
5.根据权利要求1至2中任一项所述的翻转机构，其特征在于：所述翻转单元的数量为十二个。
6.一种用以翻转多个基板的输送系统，其特征在于，包含：
一输送单元；以及如权利要求1至5中任一项所述的翻转机构，所述翻转机构沿所述输送单元行进方向的两侧分别设有所述第一承接区域及所述第二承接区域。
7.根据权利要求6所述的用以翻转多个基板的输送系统，其特征在于：所述输送单元位于所述第一承接区域或所述第二承接区域，用以将所述至少一基板输送至所述第一承接区域，或用以将所述至少一基板输送离开所述第二承接区域。
8.根据权利要求7所述的用以翻转多个基板的输送系统，其特征在于：所述第二承接区域包含至少一个缓冲垫。
9.根据权利要求7所述的用以翻转多个基板的输送系统，其特征在于：还包含一保护罩，用以包覆所述翻转机构。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
