[实用新型]扫描电镜载物台有效
申请号: | 201520714786.3 | 申请日: | 2015-09-16 |
公开(公告)号: | CN204966443U | 公开(公告)日: | 2016-01-13 |
发明(设计)人: | 宫秀勉;宋黎忠 | 申请(专利权)人: | 上海汇众汽车制造有限公司 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20;H01J37/28 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陈亮 |
地址: | 200122 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 扫描电镜 载物台 | ||
1.一种扫描电镜载物台,其特征在于,所述扫描电镜载物台包括载物托盘、至少三个夹持螺钉座和若干夹持螺钉,在所述载物托盘上设置有多个定位圆孔,所述夹持螺钉座通过所述定位圆孔固定在所述载物托盘上,所述夹持螺钉的外螺纹拧入相应的所述夹持螺钉座上的螺纹孔。
2.如权利要求1所述的扫描电镜载物台,其特征在于,所述夹持螺钉座包括横孔段、支撑段和定位段,所述螺纹孔设置在所述横孔段上。
3.如权利要求2所述的扫描电镜载物台,其特征在于,所述螺纹孔在轴线方向上与所述支撑段的轴线方向垂直。
4.如权利要求2所述的扫描电镜载物台,其特征在于,所述定位段为圆柱形,所述定位段的直径与所述定位圆孔的直径相匹配,所述支撑段的直径比所述定位段的直径大4-6mm。
5.如权利要求3所述的扫描电镜载物台,其特征在于,所述夹持螺钉的一端为平头,另一端为平头或锥头。
6.如权利要求1所述的扫描电镜载物台,其特征在于,所述载物托盘为圆形盘,其直径为80-120mm。
7.如权利要求1所述的扫描电镜载物台,其特征在于,所述定位圆孔为通孔,所述定位圆孔均匀地排列在所述载物托盘上,排列呈正六边形。
8.如权利要求7所述的扫描电镜载物台,其特征在于,所述定位圆孔的直径范围为3-6mm。
9.如权利要求2所述的扫描电镜载物台,其特征在于,所述夹持螺钉座的所述支撑段的长度为8-14mm。
10.如权利要求1-9任意一项所述的扫描电镜载物台,其特征在于,所述夹持螺钉座的数量为3-12个。
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