[实用新型]高精度三坐标测量仪

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种三坐标测量仪，尤其涉及一种高精度三坐标测量仪。

背景技术

三坐标测量机是模具、航空、汽车、电子企业和科研机构内常用的测量仪器，它可以快速、方便地测出一些普通测量仪器无法测得的零件尺寸参数；但现有的三坐标测量机由于运动稳定性差等因素，导致测量精度不高。现有三坐标测机是通过三个相互垂直运动X轴、Y轴、Z轴主体，使测量头可以同时在三个坐标方向运动，以通过多个点的坐标来精确探测物品的形状、轮廓等尺寸参数。目前的三坐标测量机不仅能在计算机控制下完成各种复杂测量，而且可以实现对加工的控制，并且还可以根据测量数据，实现反求工程。目前，三坐标测量机的精度和速度要求越来越高，因此，如何克服上述技术问题成为本领域技术人员努力的方向。

发明内容

本实用新型提供一种高精度三坐标测量仪，此高精度三坐标测量仪获得的图像经过图像处理装置的处理后反馈给操作者，使操作更加便捷、省事，大大提高了工作效率，减轻了移动部件的质量和惯量，提高了测量仪的测量精度。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种高精度三坐标测量仪，包括：载物平台、主动活动臂、从动活动臂、钢带绝对光栅尺、读数头和水平桥，所述主动活动臂、从动活动臂分别设置于载物平台两侧，所述主动活动臂、从动活动臂各自的上端之间固定有所述水平桥，此水平桥位于载物平台正上方，一可沿水平方向滑动的X轴滑块安装于所述水平桥上，所述X轴滑块滑动连接有可沿垂直方向滑动的Z轴移动机构；

所述载物平台一侧且位于主动活动臂正下方设置有第一滑轨，所述载物平台另一侧且位于从动活动臂正下方设置有第二滑轨，所述第一滑轨和第二滑轨平行设置，所述第一滑轨上安装有至少一个第一气浮滑块且此第一气浮滑块位于主动活动臂和第一滑轨之间，所述第二滑轨上安装有至少一个第二气浮滑块且此第二气浮滑块位于从动活动臂和第二滑轨之间；

所述钢带绝对光栅尺安装于载物平台侧端面且其与沿y向方向平行设置，所述读数头设在主动活动臂上，所述钢带绝对光栅尺与主动活动臂运动方向平行，所述读数头随所述主动活动臂移动，并通过位于读数头内部的光电传感器扫描所述钢带绝对光栅尺上的增量光栅获得位移量，所述增量光栅中穿插有若干个绝对参考点。

上述技术方案中进一步的改进技术方案如下：

1.上述方案中，所述光电传感器包括基板、凸镜、光电池组和LED光源，所述光电池组和LED光源位于凸镜内，且此光电池组和LED光源安装于基板表面。

2.上述方案中，所述Z轴移动机构下端固定有激光探头系统和摄像头。

3.上述方案中，所述激光探头系统主要包括电机、激光发射头和激光收集传感器，所述电机下方通过传动轴连接到激光发射头和激光收集传感器。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

本实用新型高精度三坐标测量仪，其设在所述机床上的钢带绝对光栅尺以及设在所述钢带绝对光栅尺上方的读数头，所述读数头设在所述机床的移动工作台上，所述钢带绝对光栅尺与所述机床的运动方向平行，所述读数头随所述移动工作台移动，并通过内部的光电传感器扫描所述钢带绝对光栅尺上的增量光栅，得到位移量，所以本实用新型有效消除往复测量误差和机械配合误差，同时因使用光扫描测量法而具备良好的抗污染能力和长期稳定性；其次，由于所述钢带绝对光栅尺上刻有增量光栅，且在所述增量光栅中穿插有若干绝对参考点，所以本实用新型能让后续电子设备快速找到绝对参考点，有效提高工作效率。

附图说明

附图1为本实用新型高精度三坐标测量仪立体结构示意图；

附图2为本实用新型高精度三坐标测量仪局部结构示意图；

附图3为本实用新型高精度三坐标测量仪中钢带绝对光栅尺和读数头结构示意图；

附图4为本实用新型高精度三坐标测量仪中读数头结构示意图。

以上附图中：1、载物平台；2、主动活动臂；3、从动活动臂；4、水平桥；5、X轴滑块；6、Z轴移动机构；7、光电池组；8、激光探头系统；9、摄像头；10、钢带绝对光栅尺；11、读数头；12、光电传感器；13、增量光栅；14、绝对参考点；15、基板；16、凸镜；17、电机；18、激光发射头；19、激光收集传感器；20、传动轴；21、LED光源；22、第一滑轨；221、第一气浮滑块；23、第二滑轨；231、第二气浮滑块。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：