[实用新型]一种具有倍率微调功能的光刻远心物镜

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体光刻机技术领域，具体是一种具有倍率微调功能的光刻远心物镜。

背景技术

光刻投影物镜是光刻机的核心部件，印刷线路板激光直写曝光成像设备一般配置多个光头，每个光头需要调节单个DMD的场内拼接，场内拼接需要调节物镜倍率和DMD的倾斜角度。目前光刻物镜多为远心物镜，需要将远心度控制到一定指标内。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种调节简单方便的具有倍率微调功能的光刻远心物镜。

本实用新型的技术方案为：

一种具有倍率微调功能的光刻远心物镜，从物面开始，沿光轴依次包括具有正焦距的第一透镜组、光阑、具有负焦距的第二透镜组、具有正焦距的单片倍率调节透镜和曝光焦面；

所述倍率调节透镜与所述第二透镜组之间满足以下关系：

0.8≤d/f≤1.2

其中，d表示所述倍率调节透镜与所述第二透镜组之间的距离，f表示所述倍率调节透镜的焦距，f≥200mm。

所述的具有倍率微调功能的光刻远心物镜，所述物面为DMD微镜。

由上述技术方案可知，本实用新型设计合理，易于实现，操作便捷，在倍率调节的同时能够满足光刻物镜的畸变、远心度等指标要求。

附图说明

图1是本实用新型的光学结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例进一步说明本实用新型。

如图1所示，一种具有倍率微调功能的光刻远心物镜，从物面1开始，沿光轴2方向，依次设有第一透镜组3、光阑4、第二透镜组5、倍率调节透镜6和曝光焦面7。其中，物面1为DMD微镜；第一透镜组3具有正焦距，由若干片透镜构成；第二透镜组5具有负焦距，由若干片透镜构成；倍率调节透镜6具有正焦距，为单片透镜。

第二透镜组5与倍率调节透镜6之间的距离d接近倍率调节透镜6的焦距f，f≥200mm，具体满足以下关系：

0.8≤d/f≤1.2

不难理解，由于第二透镜组5由若干片透镜构成，此处的d即为最靠近倍率调节透镜6的那片透镜与倍率调节透镜6之间的距离。

第一透镜组3为物镜的前透镜组，第二透镜组5与倍率调节透镜6一起构成物镜的后透镜组，整个物镜的倍率由前透镜组的焦距和后透镜组的焦距确定。本实用新型通过简单的机械螺纹旋转即可以调节倍率，即沿光轴方向前后移动（倍率调节透镜6可以前后移动+/-1mm），倍率调节简单方便。

以上所述实施方式仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的范围进行限定，在不脱离本实用新型设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本实用新型的权利要求书确定的保护范围内。