[实用新型]一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用游离磨料抛光辊有效
| 申请号： | 201520685123.3 | 申请日： | 2015-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN204997508U | 公开（公告）日： | 2016-01-27 |
| 发明（设计）人： | 苏建修;贾琛;姚建国;郭竞杰;郑丽媛;王雅慧;张骞;陈佳鹏 | 申请（专利权）人： | 河南科技学院 |
| 主分类号： | B24B37/11 | 分类号： | B24B37/11 |
| 代理公司： | 新乡市平原专利有限责任公司 41107 | 代理人： | 吕振安 |
| 地址： | 453003 河南省新*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 roll to 化学 机械 抛光机 游离 磨料 抛光 | ||
【权利要求书】：
1.一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用游离磨料抛光辊，它包括游离磨料抛光辊基体，其特征在于：游离磨料抛光辊的两侧分别设有抛光辊左端支撑机构和抛光辊右端支撑机构，游离磨料抛光辊基体的外侧设有游离磨料抛光辊基体层，游离磨料抛光辊基体层的外侧设有第一粘接层，第一粘接层的外侧设有游离磨料抛光辊的支撑层，在游离磨料抛光辊的支撑层的外侧设有第二粘接层，第二粘接层的外侧设有游离磨料抛光辊的接触层。
2.根据权利要求1所述的一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用游离磨料抛光辊，其特征在于：所述的游离磨料抛光辊的接触层为聚氨脂IC1000、聚氨脂IC1400、尼龙布、平绒布、无纺布中的任一种。
3.根据权利要求1所述的一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用游离磨料抛光辊，其特征在于：所述的游离磨料抛光辊的支撑层为聚氨脂SUBAIV、304不锈钢材料任一种。
4.根据权利要求1所述的一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用游离磨料抛光辊，其特征在于：所述的粘接层为水性双面胶带、502胶任一种。
5.根据权利要求1所述的一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用游离磨料抛光辊，其特征在于：游离磨料抛光辊的接触层的表面为无图案形状或网格形状图案。
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