[实用新型]铜氧化膜厚度测量仪有效
申请号: | 201520680862.3 | 申请日: | 2015-09-02 |
公开(公告)号: | CN204964438U | 公开(公告)日: | 2016-01-13 |
发明(设计)人: | 喻晖;冯永春;曹钟樑 | 申请(专利权)人: | 武汉康捷科技发展有限公司 |
主分类号: | G01N27/26 | 分类号: | G01N27/26;G01B21/08 |
代理公司: | 北京市金栋律师事务所 11425 | 代理人: | 吴小旭 |
地址: | 430090 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 氧化 厚度 测量仪 | ||
1.铜氧化膜厚度测量仪,包括电解槽,所述电解槽上方开设阳极接口和阴极接口,所述电解槽内设置电解液,其特征在于:还包括信号控制模块,所述信号控制模块包括恒定电流输出模块、电压采样模块、处理模块和通信模块,所述恒定电流输出模块、电压采样模块、通信模块均连接至所述处理模块,所述恒定电流输出模块连接所述阳极接口、所述阴极接口,所述阴极接口、所述阳极接口均连接至所述电压采样模块,所述通信模块用于连接计算机处理系统。
2.根据权利要求1所述的铜氧化膜厚度测量仪,其特征在于:还包括电位传感器,所述电位传感器设置在所述阳极接口上。
3.根据权利要求1或2所述的铜氧化膜厚度测量仪,其特征在于:还包括计算机处理系统,所述通信模块通过RS232串口连接至所述计算机处理系统。
4.根据权利要求3所述的铜氧化膜厚度测量仪器,其特征在于:所述阳极接口连接惰性金属,所述惰性金属插入电解槽,惰性金属的下端浸入所述电解液中,所述阴极接口用于连接试样。
5.根据权利要求4所述的铜氧化膜厚度测量仪器,其特征在于:在所述阴极接口安装夹具。
6.根据权利要求4或5所述的铜氧化膜厚度测量仪器,其特征在于:所述电解槽的顶部设置试样固定筒,所述固定筒上开设长条形槽口和圆形槽口,所述固定筒的轴线方向与所述惰性金属的长度方向平行。
7.根据权利要求6所述的铜氧化膜厚度测量仪器,其特征在于:所述电解槽的一个或多个侧面为透明或半透明,所述透明或半透明侧面设置刻度。
8.根据权利要求7所述的铜氧化膜厚度测量仪器,其特征在于:所述电解液的高度不小于101.6毫米。
9.根据权利要求7或8所述的铜氧化膜厚度测量仪器,其特征在于:所述惰性金属为铂丝。
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