[实用新型]化学机械抛光装置用承载头的隔膜及承载头

权利要求书

1.一种化学机械抛光装置用承载头的隔膜，其特征在于，包括：

底板，由可挠性材质形成为板状，并对晶片的板面进行加压；

侧壁，由可挠性材质形成，并从上述底板的边缘部分延伸而成，在上述侧壁的上侧形成加压腔室的底面的一部分以上；以及

内侧环，由硬度高于上述可挠性材质的材质形成，并与上述侧壁的内周面相结合，以传递从上述加压腔室向上述晶片的边缘区域传递的作用力。

2.根据权利要求1所述的化学机械抛光装置用承载头的隔膜，其特征在于，

在向上述加压腔室施加正压的状态下，上述内侧环的上端与上述加压腔室的底面相接触，同时，上述内侧环的下端与上述底板的上表面相接触，从而向上述晶片传递上述加压腔室的加压力。

3.根据权利要求2所述的化学机械抛光装置用承载头的隔膜，其特征在于，

在未向上述加压腔室施加正压的状态下，上述内侧环的上端处于未与上述加压腔室的底面相接触的状态。

4.根据权利要求2所述的化学机械抛光装置用承载头的隔膜，其特征在于，

在未向上述加压腔室施加正压的状态下，上述内侧环的下端处于未与上述底板相接触的状态。

5.根据权利要求2所述的化学机械抛光装置用承载头的隔膜，其特征在于，

在上述内侧环的下端和上述侧壁之间设置有沿着半径方向的空间部。

6.根据权利要求2所述的化学机械抛光装置用承载头的隔膜，其特征在于，

在上述内侧环的外周面上形成有环形槽，被插入于上述侧壁的内周面的突出部。

7.根据权利要求6所述的化学机械抛光装置用承载头的隔膜，其特征在于，

上述内侧环的内周面向内侧凸出而成。

8.根据权利要求7所述的化学机械抛光装置用承载头的隔膜，其特征在于，

上述内侧环的内周面的上端部形成向内侧倾斜的倾斜面。

9.根据权利要求7所述的化学机械抛光装置用承载头的隔膜，其特征在于，

上述内侧环的内周面从上述倾斜面向铅直方向延伸，从而与上述底板形成环形的接触面。

10.根据权利要求7所述的化学机械抛光装置用承载头的隔膜，其特征在于，

上述内侧环的下端部向径向向外突出，其一部分以上插入至从上述侧壁和上述底板的连接部向径向向外方向挖凿的槽中。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的化学机械抛光装置用承载头的隔膜，其特征在于，

在上述侧壁的外周面上安装有外侧环，上述外侧环的材质的硬度高于上述可挠性材质，从而抑制上述侧壁向径向的膨胀。

12.根据权利要求11所述的化学机械抛光装置用承载头的隔膜，其特征在于，

与上述外侧环的内周末端相比，上述内侧环的外周末端更靠径向外侧。

13.根据权利要求12所述的化学机械抛光装置用承载头的隔膜，其特征在于，

在上述侧壁的外周面上形成有用于收容上述外侧环的环形槽。

14.一种化学机械抛光装置的承载头，其特征在于，包括：

本体部，从外部接收旋转驱动力来进行旋转；以及

权利要求1至10中任一项所述的隔膜，定位于上述本体部，且与上述本体部一同旋转，并在上述隔膜和上述本体部之间形成有压力腔室，从而在化学机械抛光工序中通过控制上述压力腔室的压力来向下方加压位于底面的晶片。

15.根据权利要求14所述的化学机械抛光装置的承载头，其特征在于，

在上述侧壁的外周面上安装有硬度高于上述可挠性材质的外侧环，从而抑制上述侧壁向径向的膨胀。

16.根据权利要求15所述的化学机械抛光装置的承载头，其特征在于，

与上述外侧环的内周末端相比，上述内侧环的外周末端更靠径向外侧。