[实用新型]一种新型液态硅烷泵

说明书

技术领域

本实用新型属于泵类装置技术领域，尤其涉及一种新型液态硅烷泵。

背景技术

液态硅烷泵，其工作原理同微型真空泵工作原理相同，通过机械装置使泵内部做往复式运动，从而对固定容积的泵腔内的空气进行压缩、拉伸形成真空(负压)，在泵抽气口处与外界大气压产生压力差，在压力差的作用下，将气体压(吸)入泵腔，再从排气口排出。正因为抽气口处或者抽排气口可以与外界大气形成压力差，从而实现硅烷的输送。然而这种硅烷泵的动力是通过活塞的往复运动实现的，活塞为金属件，活塞周侧安装密封圈，通密封圈与活塞泵体进行密封，密封圈防止硅烷进入泵体内腔中，但是密封圈在使用较长一段时间后，密封圈容易损坏，磨损，从而导致硅烷进入泵体内腔，由于硅烷为易燃易爆气体，极易发生危险。针对该问题，本专利申请人研究开发了一种密封性好、具有报警功能的液态硅烷泵来解决该问题。

发明内容

本实用新型的目的旨在克服现有的液态硅烷泵上的活塞密封圈存在的容易损坏磨损而导致硅烷泄漏的问题，提供一种密封性好、具有报警功能的液态硅烷泵。

为此，本实用新型采用以下技术方案：

一种新型液态硅烷泵，在泵体的工作腔内设置有活塞组件，活塞组件包括活塞和活塞杆，活塞组件由动力机构驱动在泵体内往复运动，工作腔前部设置有输送硅烷进出的吸液口和排液口，所述工作腔后部的内壁上还设置有密封填料结构，活塞杆穿过密封填料结构中部的孔位并与所述动力机构连接，活塞和密封填料结构之间的活塞杆上套装有波纹管；所述波纹管的一端和活塞组件连接，另一端与密封填料结构连接。

所述波纹管内侧设置有检测泄漏硅烷的传感器。

供硅烷进出的所述吸液口和排液口上都设有调节阀。

所述的动力机构为电机。

所述的活塞和活塞杆为一体式结构或分体式结构。

使用本实用新型可以达到以下有益效果：

本实用新型在硅烷泵的泵体中设置了波纹管、密封填料结构和传感器，通过设置波纹管和密封填料结构实现了泵体内腔的密封，可以防止硅烷进入波纹管内侧，即便一部分硅烷渗过活塞的密封圈也不会产生硅烷泄漏，无需经常更换密封圈。

本实用新型的传感器是防止硅烷进入泵体中后硅烷泵继续工作，通过传感器的感应报警马上切断硅烷泵的工作。

本实用新型通过波纹管、密封填料结构和传感器为硅烷泵提供了双保险，大大提高了硅烷泵的安全性。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细描述。

实施例：如图1所示，本实用新型包括泵体1、活塞2、活塞杆3、波纹管4、密封填料结构6和传感器5，泵体1的前端形成供硅烷进出的吸液口8和排液口9，吸液口8和排液口9都与泵体的工作腔贯通，活塞2由活塞杆3通过动力机构7驱动做往复运动，波纹管4穿装于泵体内腔并位于活塞2的后端，封填料结构设置于泵体内腔的尾部，传感器5设置于泵体的内腔中，活塞杆3穿过密封填料结构6和波纹管4与活塞2连接，由于密封填料结构6、波纹管4和活塞2之间形成相对密封的密封腔，因此硅烷介质无法从活塞2的边缘泄漏进入波纹管内腔中。

本实用新型的工作原理：当活塞杆3与密封填料结构6有相对运动时，由于填料的塑性，使密封填料结构6产生径向力，并与活塞杆3紧密接触，与此同时，填料中浸渍的润滑剂被挤出，在接触面之间形成油膜，从而实现活塞杆3的运动。如果万一硅烷介质泄漏进入泵体内腔中，导致密封腔中的压力值改变，波纹管4产生位移并将压力值通过传感器5感应反馈实现报警，从而马上切断电源中断硅烷泵的工作。

供硅烷进出的吸液口8和排液口9上都设有调节阀，从而可以调节硅烷的进出流量，吸液口8的中心线与排液口9的中心线呈垂直。

动力机构7为电机。

活塞2和活塞杆3为一体式结构或分体式，本实施例为分体式结构。

本实用新型在硅烷泵的泵体中设置了波纹管、密封填料结构和传感器，通过设置密封填料结构实现了泵体内腔的密封，可以防止硅烷进入泵体内腔中，从而可以长时间提高活塞密封圈的使用寿命，无需经常更换密封圈。通过在泵体中设置波纹管和传感器是防止硅烷进入泵体中后硅烷泵继续工作，通过传感器的感应报警马上切断硅烷泵的工作。本实用新型通过波纹管、密封填料结构和传感器为硅烷泵提供了双保险，大大提高了硅烷泵的安全性。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。