[实用新型]磁传感器有效
申请号: | 201520670545.3 | 申请日: | 2015-08-31 |
公开(公告)号: | CN204905302U | 公开(公告)日: | 2015-12-23 |
发明(设计)人: | 蒋乐跃;沈佳;顾文彬 | 申请(专利权)人: | 美新半导体(无锡)有限公司 |
主分类号: | H01L43/12 | 分类号: | H01L43/12;H01L43/02 |
代理公司: | 无锡互维知识产权代理有限公司 32236 | 代理人: | 庞聪雅 |
地址: | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 传感器 | ||
1.一种磁传感器,其特征在于,其包括:
基底;
形成于基底上的多个磁阻条;
形成于每个磁阻条上的并与该每个磁阻条成预定角度的若干个导电条;其中所述导电条的两端与对应的磁阻条的两侧边对齐。
2.根据权利要求1所述的磁传感器,其特征在于,所述导电条的两端与对应的磁阻条的两侧边是在同一次光刻过程中形成的。
3.根据权利要求1所述的磁传感器,其特征在于,
所述磁阻条的厚度约为10-100nm,
所述导电条的厚度约为200-500nm。
4.根据权利要求1所述的磁传感器,其特征在于,位于每个磁阻条上的导电条是互相平行的。
5.根据权利要求1所述的磁传感器,其特征在于,所述预定角度为30度至60度。
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