[实用新型]用于硅片品质分选设备的上料装置

权利要求书

1.一种用于硅片品质分选设备的上料装置，其特征在于，包括平移组件、一个以上的上料槽（2）以及传送组件，所述上料槽（2）内放置有叠好的硅片（5），所述平移组件上设置有一个以上的真空吸盘（7），所述平移组件带着真空吸盘（7）运动至上料槽（2）以吸附上料槽（2）内的硅片（5），然后带着所述真空吸盘（7）运动至传送组件的上方放下硅片（5），由所述传送组件进行硅片（5）的传送。

2.根据权利要求1所述的用于硅片品质分选设备的上料装置，其特征在于，所述上料槽（2）为多个，分成两组；沿着所述平移组件的运动行程，在所述平移组件两端分别设置一组上料槽（2），并在平移组件上设置两组真空吸盘（7），每组真空吸盘（7）对应一组上料槽（2）；当其中一组真空吸盘（7）处于吸附硅片（5）状态时，另外一组真空吸盘（7）运动至传送组件的上方处于放片状态。

3.根据权利要求2所述的用于硅片品质分选设备的上料装置，其特征在于，同一组的上料槽（2）包括两个，所述真空吸盘（7）的数量为四个，同一组内的两个上料槽（2）呈垂直90度的方式安装。

4.根据权利要求1或2或3所述的用于硅片品质分选设备的上料装置，其特征在于，在所述上料槽（2）处设置有风刀（3），所述风刀（3）用于将堆叠在一起的硅片（5）吹散。

5.根据权利要求1或2或3所述的用于硅片品质分选设备的上料装置，其特征在于，所述上料槽（2）内设置有料盒（6），所述硅片（5）堆放于料盒（6）中。

6.根据权利要求5所述的用于硅片品质分选设备的上料装置，其特征在于，所述上料槽（2）内具有供料盒（6）移动的一段行程。

7.根据权利要求5所述的用于硅片品质分选设备的上料装置，其特征在于，在所述料盒（6）的下方设置有顶升部件，通过顶升部件升降装载在料盒（6）里面的硅片（5）。

8.根据权利要求7所述的用于硅片品质分选设备的上料装置，其特征在于，所述顶升部件的行程上设置传感器（4），用来检测顶升部件顶升的硅片（5）停止的位置。

9.根据权利要求7所述的用于硅片品质分选设备的上料装置，其特征在于，所述顶升部件为滚珠丝杆（9）。

10.根据权利要求1或2或3所述的用于硅片品质分选设备的上料装置，其特征在于，所述平移组件为电动滑台（1），所述传送组件为传送带（8）。