[实用新型]一种真空溅射镀膜基片的装夹装置有效
| 申请号： | 201520668550.0 | 申请日： | 2015-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN205011833U | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 王新;牛建国 | 申请（专利权）人： | 洛阳新兆电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 471000 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 溅射 镀膜 装置 | ||
1.一种真空溅射镀膜基片的装夹装置，是由：双面基片(1)、双面下弹性卡(2)、双面上弹性卡(3)、横梁(4)、竖梁(5)、单面上弹性卡(6)、单面下弹性卡(7)、单面基片(8)构成；其特征在于：如图所示，竖梁(5)一侧设置至少两根横梁(4)，横梁(4)设置为十字型，十字型横梁(4)两侧分别设置侧梁；中部横梁(4)上面对称设置两个双面下弹性卡(2)、上方横梁(4)下面对称设置两个双面上弹性卡(3)，双面上弹性卡(3)与双面下弹性卡(2)的卡头对应设置，双面下弹性卡(2)与双面上弹性卡(3)之间设置双面基片(1)；上方横梁(4)下面与中部横梁(4)上面设置一组双面上弹性卡(3)与双面下弹性卡(2)。
2.根据权利要求1中所述的一种真空溅射镀膜基片的装夹装置，其特征在于：上方横梁(4)的侧梁下方对称设置两个单面上弹性卡(6)、中部横梁(4)的侧梁上面对称设置两个单面下弹性卡(7)，单面上弹性卡(6)与单面下弹性卡(7)的卡头对应设置，单面上弹性卡(6)与单面下弹性卡(7)之间设置单面基片(8)。
3.根据权利要求1中所述的一种真空溅射镀膜基片的装夹装置，其特征在于：竖梁(5)一侧设置至少两根横梁(4)，上下相邻两根横梁(4)之间对应基片的规格设置，两根横梁(4)之间设置双面基片(1)；横梁(4)设置为十字型，十字型横梁(4)两侧分别设置侧梁；同一侧的两根横梁(4)侧梁之间设置单面基片(8)。
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