[实用新型]激光检测装置及激光加工系统

权利要求书

1.一种激光检测装置（100），其特征在于：包括能够将激光光源（20）发出的激光分成测试光（104）和加工光（102）的分束器（110）、对从所述的分束器（110）中射出的光的品质进行检测的感应装置（120），感应装置（120）还具有传感器（122）。

2.根据权利要求1所述的激光检测装置（100），其特征在于：需要检测的所述的光的品质包括光频率、功率密度中的至少一种。

3.根据权利要求1所述的激光检测装置（100），其特征在于：所述的激光光源（20）为气体激光源、固体激光源的情况或液体激光源。

4.根据权利要求1所述的激光检测装置（100），其特征在于：所述的感应装置（120）包括用于调节测试光（104）光量的衰减器（124），所述的衰减器（124）安装在测试光（104）通过的光路上。

5.根据权利要求1所述的激光检测装置（100），其特征在于：所述的感应装置（120）还包括用于调整检测光光路的至少一个镜片的光学组件（126）。

6.根据权利要求5所述的激光检测装置（100），其特征在于：所述的镜片为能够调整位置或者焦距可变的可变型镜片。

7.根据权利要求6所述的激光检测装置（100），其特征在于：所述的可变型镜片为能够根据电信号表面张力发生变化从而表面产生形变的液体型镜片。

8.一种包含有权利要求1-7中任意一项所述的激光检测装置（100）的激光加工系统（400），其特征在于：还包括利用由所述的分束器（110）分出的加工光（102）对加工对象（40）进行激光加工的激光加工装置（410）、以及获得由所述的感应装置（120）中检测到的品质信息后再判断激光品质好坏从而控制所述的激光光源（20）的控制部（420），所述的激光光源（20）与所述的感应装置（120）分别与所述的控制部（420）相连接。

9.根据权利要求8所述的激光加工系统（400），其特征在于：所述的激光加工系统（400）还包括与所述的控制部（420）相连接的警报激发装置。

10.根据权利要求8所述的激光加工系统（400），其特征在于：所述的控制部（420）具有去除激光品质信息中的干扰信号的匹配滤波器。