[实用新型]光学元件面形在位检测装置

权利要求书

1.光学元件面形在位检测装置，其特征在于，按光路依次包括：平面动态干涉仪(2)和光路转向反射镜(5)，所述平面动态干涉仪(2)沿水平方向射出的测试光，经光路转向反射镜(5)后垂直射向光学元件，所述光路转向反射镜(5)设置在框架(3)上，所述框架(3)和平面动态干涉仪(2)设置在光学隔振平台(1)上，所述框架(3)前端的钢板呈45度倾斜朝下，所述光路转向反射镜(5)由镜框夹持，通过三个呈直角分布的拉杆固定在所述框架(3)的前端倾斜钢板上。

2.如权利要求1所述的光学元件面形在位检测装置，其特征在于，在所述光学隔振平台(1)上设置有导轨(8)，所述框架(3)通过滑块设置在所述导轨(8)上，并通过框架移动控制电机(4)控制框架(3)沿着导轨(8)在光学隔振平台(1)上前后移动。

3.如权利要求1所述的光学元件面形在位检测装置，其特征在于，所述三个呈直角分布的拉杆中，直角处的第一拉杆(13)设有球铰结构，可绕任意方向旋转，斜下方的第二拉杆(14)和侧方的第三拉杆(15)的伸缩长度分别通过自带电机进行控制，以分别调节光路转向反射镜(5)的俯仰角和水平角。

4.如权利要求1所述的光学元件面形在位检测装置，其特征在于，所述光路转向反射镜(5)表面镀有高反膜。