[实用新型]一种防止封装芯片脱料盘滑动错位的限位装置有效
| 申请号: | 201520666510.2 | 申请日: | 2015-08-31 |
| 公开(公告)号: | CN204857693U | 公开(公告)日: | 2015-12-09 |
| 发明(设计)人: | 邓海涛;段之刚;王利华;李真高 | 申请(专利权)人: | 成都先进功率半导体股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
| 代理公司: | 四川力久律师事务所 51221 | 代理人: | 王芸;熊晓果 |
| 地址: | 611731 四川省成都市高*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 防止 封装 芯片 脱料盘 滑动 错位 限位 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种芯片生产装置,特别是一种防止封装芯片脱料盘滑动错位的限位装置。
背景技术
在芯片的生产过程中,QFN/DFN封装芯片在塑封后需要将成品放在UV膜(紫外线敏感膜)上照射紫外线,然后再脱落下来,而这个过程是在专用的脱料工作台上进行,如附图1和图2所示,脱料盘2用于放置脱落下来的芯片产品3,脱料盘2安装在轨道1的轨道滑槽12内,沿轨道滑槽长度方向为一端封闭另一端开口的设计,这样可以在完成芯片产品脱落操作后,轻松地将脱料盘从轨道滑槽内取出。然而这样的设计存在以下缺点:
脱料盘在随轨道在运行时避免不了机械振动,会使脱料盘在进行脱料过程中存在滑出轨道的可能,甚至在脱料盘滑到一定距离后整个脱料盘离开轨道的支撑,使脱料盘中的芯片产品全部打翻在地,有损坏芯片产品的可能、影响芯片的洁净度。
实用新型内容
本实用新型的目的在于:针对现有技术中承装芯片产品的脱料盘在运行时存在机械振动,使脱料盘在进行脱料过程中存在滑出轨道的可能,甚至整个脱料盘离开轨道的支撑,使脱料盘中的芯片产品全部打翻在地,损坏芯片产品、影响芯片的洁净度的问题,提供一种防止封装芯片脱料盘滑动错位的限位装置,该限位装置能防止脱料盘在运行时滑出轨道,提高产品生产过程中的安全性。
为了实现上述目的,本实用新型采用的技术方案为:
一种防止封装芯片脱料盘滑动错位的限位装置,包括与设置在脱料工作台上的轨道装置,所述轨道装置上设置有与脱料盘相适配的轨道滑槽,所述轨道滑槽内设置有限制脱料盘沿滑槽入口端方向滑动的限位件。
本限位装置通过在轨道滑槽内设置限位件,使得承装芯片产品的脱料盘在运行过程中不易滑出轨道装置,保证了产品的安全性,避免因脱料盘滑落造成的芯片损坏或影响芯片的洁净度,提高生产效率。
作为本实用新型的优选方案,所述限位件为设置在轨道滑槽内的限位凸起,所述限位凸起到轨道滑槽封闭端的距离与脱料盘尺寸相适应,所述脱料盘能够通过所述限位凸起顶部与轨道滑槽之间的间隙。设置在轨道滑槽内的限位凸起,且限位凸起与轨道滑槽封闭端之间的距离与脱料盘尺寸相适应,即能放下脱料盘,在轨道装置运行时即使产生机械振动,限位凸起也会限制住脱落盘的运动位置,避免脱料盘滑出轨道甚至被打翻;并且取出脱料盘时需要用手将脱料盘向上抬起后,经过限位凸起顶部与轨道滑槽之间的间隙,再向后拉才能取出,提高产品的安全性。
作为本实用新型的优选方案,所述限位凸起设置在靠近滑槽入口端的位置。将限位凸起设置在轨道滑槽的入口处,使得脱料盘在轨道滑槽内的滑动距离更大,使该限位装置的适应性更广,可适应的脱料盘尺寸更多。
作为本实用新型的优选方案,所述限位凸起与所述轨道滑槽为一体成型结构。与轨道滑槽一体成型的限位凸起稳固性更好,使得限位凸起在使用过程中不易损坏,利于稳定整个芯片脱料盘的使用稳定性。
综上所述,由于采用了上述技术方案,本实用新型的有益效果是:
1.本限位装置通过在轨道滑槽内设置限位件,使得承装芯片产品的脱料盘在运行过程中不易滑出轨道装置,保证了产品的安全性,避免因脱料盘滑落造成的芯片损坏或影响芯片的洁净度,提高生产效率;
2.设置在轨道滑槽内的限位凸起,且限位凸起与轨道滑槽封闭端之间的距离与脱料盘尺寸相适应,即能放下脱料盘,在轨道装置运行时即使产生机械振动,限位凸起也会限制住脱落盘的运动位置,避免脱料盘滑出轨道甚至被打翻;并且取出脱料盘时需要用手将脱料盘向上抬起后,经过限位凸起顶部与轨道滑槽之间的间隙,再向后拉才能取出,提高产品的安全性;
3.将限位凸起设置在轨道滑槽的入口处,使得脱料盘在轨道滑槽内的滑动距离更大,使该限位装置的适应性更广,可适应的脱料盘尺寸更多。
附图说明
图1是本现有芯片产品脱料盘和支撑脱料盘的滑轨配合的结构示意图。
图2为图1中的滑轨的结构示意图。
图3为本实用新型的滑轨的结构示意图。
图中标记:1-轨道装置,11-轨道滑槽,12-滑槽封闭端,13-限位凸起,14-滑槽入口端,2-脱料盘,3-芯片产品。
具体实施方式
下面结合附图,对本实用新型作详细的说明。
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
实施例1
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





