[实用新型]一种基于压块自动压合方式的接地铜排结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及电池技术领域，特别涉及一种基于压块自动压合方式的接地铜排结构，应用于PECVD接地铜排的固定或拆卸。

背景技术

能源是经济发展的前提条件，一个良性循环的能源使用系统可以促进经济社会的发展。伴随着化石能源的逐步枯竭，作为石油替代品的新能源领域发展前景广阔。其中，太阳能光伏电池是新能源最重要的组成部分，在太阳能电池中，薄膜电池具有更强的弱光效应，廉价的制备材料，更佳的视觉效果及易于大规模连续化生产等优点，在光伏建筑一体化(BIPV)中具有广阔的发展前景。在太阳能薄膜电池的生产过程中，电池成膜的过程采用PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)--等离子体增强化学气相沉积法，PECVD技术在薄膜生产中占有相当大的主导地位，在PECVD工序中，电极的起辉决定着产品的成败，接地铜排作为射频系统中的重要组成部分主要采用螺旋拧紧的方式安装在工件架上。但由于生产过程中进出炉时间和腔室温度的严格控制，快速有效的连接接地铜排，降低劳动强度并减少热量损耗，成为沉积炉提高生产率的必经之路。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是如何克服现有技术的上述缺陷，提供一种基于压块自动压合方式的接地铜排结构。该接地铜排结构在能够不影响目前工艺要求的情况下，降低劳动强度，减少工件架进出炉时间，有效提高沉积炉生产率。

本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本一种基于压块自动压合方式的接地铜排结构，包括腔室端接地铜排结构和工件架端接地铜排结构；

所述腔室端接地铜排结构包括第一固定块、紧固螺栓、推杆弹簧、弹簧套、推杆、腔室端接地铜块、腔室端接地铜排、第二固定块和固定螺栓，所述紧固螺栓安装于第一固定块上，所述推杆弹簧一端顶在推杆上、另一端压在第一固定块的端部，所述弹簧套套于推杆弹簧外部，所述腔室端接地铜块固定在所述推杆和腔室端接地铜排一端上，所述腔室端接地铜排另一端通过第二固定块和固定螺栓进行固定；

所述工件架端接地铜排结构包括工件架端接地铜排和工件架端接地铜块，所述工件架端接地铜块固定在工件架上、且与腔室端接地铜块在一条水平线上；

在腔室端接地铜块收到工件架端接地铜块的推压时，推杆弹簧发生压缩形变，从而使得腔室端接地铜块和工件架端接地铜块压合紧实，实现工件架端接地铜排和腔室端接地铜排的连接。

作为优化，还包括限位转轴，所述限位转轴位于第一固定块和推杆弹簧连接处。

作为优化，自然状态时所述腔室端接地铜块的平面与腔室底面呈45°，所述工件架端接地铜块的平面与腔室底面也呈45°。

作为优化，所述推杆弹簧为耐高温材质弹簧。

作为优化，所述推杆弹簧的材质为CrSi，可耐高温400-600℃。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型，结构简单、设计科学、使用方便，采用工件架和腔室两端的压块自动压合结构，具体通过设置第一固定块、紧固螺栓、推杆弹簧、弹簧套、推杆、腔室端接地铜块、腔室端接地铜排、第二固定块、固定螺栓、工件架端接地铜排和工件架端接地铜块，且将腔室端接地铜排与工件架端接地铜排在一条水平线上，当工件架被拉到位后，工件架端接地铜块便与腔室端接地铜块自动压合，在推力的作用下，推杆向后向下动作，在推杆弹簧受向下推力作用下两个压块可以压合紧实，实现工件架和腔室端接地铜排的连接。在工件架进入到腔室限位后两端压块便会自动压合，这就减少了连接或拆卸螺丝的动作，使接地铜排连接工作方便快捷，从而降低劳动强度，提高工件架进出炉的工作效率。具有较好的实际应用价值和推广价值。

附图说明

下面结合附图对本一种基于压块自动压合方式的接地铜排结构作进一步说明：

图1是本一种基于压块自动压合方式的接地铜排结构的腔室端接地铜排结构示意图；

图2是本一种基于压块自动压合方式的接地铜排结构的工件架端接地铜排结构示意图。

图中：1为第一固定块、2为紧固螺栓、3为推杆弹簧、4为弹簧套、5为推杆、6为腔室端接地铜块、7为腔室端接地铜排、8为第二固定块、9为固定螺栓、10为限位转轴、11为工件架端接地铜排、12为工件架端接地铜块。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下参照附图并举实施例，对本实用新型进一步详细说明。

如图1-图2所示，本一种基于压块自动压合方式的接地铜排结构，包括腔室端接地铜排结构和工件架端接地铜排结构；