[实用新型]基于反射型补偿数字全息术的光学元件表面疵病检测装置

权利要求书

1.基于反射型补偿数字全息术的光学元件表面疵病检测装置，它包括激光器（1）、CCD相机（13）及计算机（12），其特征在于：它还包括光学系统；所述激光器（1）设置在光学系统的光入射端，所述CCD相机（13）设置在光学系统的光射出端,所述CCD相机（13）与计算机（12）电连接；所述光学系统包括依次设置的第一显微物镜（2）、针孔（3）、第一透镜（4）、第一分光棱镜（5）、第一反射镜（6）、第二反射镜（7）、第二透镜（8）、第二分光棱镜（9）及第二显微物镜（10）；所述第一分光棱镜（5）与第二分光棱镜（9）之间设置有可调衰减器（11）和第三显微物镜（15）；

细激光束由激光器（1）发出，穿过第一显微物镜（2）和针孔（3）变为球面光束，球面光束穿过第一透镜（4）变为平行光束后经过第一分光棱镜（5）分为反射平行光和透射平行光；所述反射平行光经过第一反射镜（6）、第二反射镜（7）反射后照射到第二透镜（8），反射平行光再依次经第二透镜（8）、第二分光棱镜（9）和第二显微物镜（10）透射后照射到测试样品（14）上，反射平行光经测试样品(14)反射后穿过第二显微物镜（10）到达第二分光棱镜（9）,并经第二分光棱镜（9）反射到达CCD相机（13）；所述透射平行光依次穿过可调衰减器（11）、第三显微物镜（15）和第二分光棱镜（9）后到达CCD相机（13）。

2.根据权利要求1所述的基于反射型补偿数字全息术的光学元件表面疵病检测装置，其特征在于，所述的针孔（3）位于第一显微物镜（2）的焦点上。

3.根据权利要求1所述的基于反射型补偿数字全息术的光学元件表面疵病检测装置，其特征在于，所述的第一透镜（4）的焦点位于针孔（3）上。

4.根据权利要求1所述的基于反射型补偿数字全息术的光学元件表面疵病检测装置，其特征在于，所述的第二透镜（8）的焦点位于第二显微物镜（10）的焦点上。

5.根据权利要求1所述的基于反射型补偿数字全息术的光学元件表面疵病检测装置，其特征在于，经过第一分光棱镜（5）反射后的光束与经过第二反射镜（7）反射后的光束平行。