[实用新型]一种面向柔性芯片的多顶针剥离装置

权利要求书

1.一种面向柔性芯片的多顶针剥离装置，其特征在于，该多顶针剥离装置包括固定座、双真空腔室、多顶针机构和凸轮旋转驱动机构，其中：

所述双真空腔室由分设在内、外侧的真空内腔室和真空外腔室共同组成，它们沿着竖直方向同轴安装在所述固定座上，并各自配置有气管接头来为其提供真空环境；此外，所述真空内腔室还与电磁铁可上下滑动地连接，由此当电磁铁通电时得以沿着竖直方向向下运动，而当电磁铁断电时在内腔室复位弹簧的作用向上恢复原位；

所述多顶针机构由同轴安装且彼此独立操控的内圈顶针机构和外圈顶针机构共同组成，并且它们沿着竖直方向整体设置在所述真空内腔室的下部；其中对于内圈顶针机构而言，它包括内圈顶针、联接在该内圈顶针下端的内支撑杆、继续联接在该内支撑杆下端的内圈从动子；对于外圈顶针机构而言，它包括均匀分布在所述内圈外侧上的多个外圈顶针、联接在该外圈顶针下端的外支撑杆、以及继续联接在该外支撑杆下端的外圈从动子；此外，所述内圈从动子和外圈从动子沿着水平方向并列布置；

所述凸轮旋转驱动机构包括沿着水平方向依次布置的驱动电机、固定凸轮、滑动凸轮和挡块，其中该固定凸轮与所述驱动电机的水平输出轴固连以受其驱动，该滑动凸轮继续同轴安装在所述固定凸轮的凸轮轴上，它的左右两侧分别设有磁体并且可相对于所述固定凸轮发生轴向滑动；此外，所述固定凸轮和滑动凸轮的上端均与所述内圈从动子和外圈从动子的下端保持平齐。

2.如权利要求1所述的多顶针剥离装置，其特征在于，上述多顶针剥离装置还包括顶针高度检测部件，该顶针高度检测部件整体置于所述真空外腔室的上部，并通过与所述多顶针机构中的内圈顶针和外圈顶针各自的受力情况，来判定这些顶针彼此之间的高度一致性。

3.如权利要求1或2所述的多顶针剥离装置，其特征在于，所述凸轮旋转驱动机构还包括挡片和传感器，其中该挡片安装在所述固定凸轮上并随其一同发生旋转，该传感器则由所述挡片而触发，并用于对所述固定凸轮的旋转位置进行实时检测。

4.如权利要求3所述的多顶针剥离装置，其特征在于，对于所述固定凸轮和滑动凸轮而言，它们的配合接触面均采用截面为矩形的结构。