[实用新型]回收系统

权利要求书

1.一种回收系统，用于回收多晶硅还原系统(30)产生的还原尾气，所述多晶硅还原系统(30)与四氯化硅氢化系统(20)连通，其特征在于，所述回收系统(10)包括：

冷凝单元(110)，所述还原尾气通过所述冷凝单元(110)后得到不凝气体和冷凝后液体，且所述冷凝单元(110)的出口连接有不凝气体输出管道和冷凝后液体输出管道；

吸脱附单元(120)，与所述不凝气体输出管道连接，所述吸脱附单元(120)用于将所述不凝气体中的氢气分离出来，所述不凝气体通过所述吸脱附单元(120)发生吸附和脱附后得到脱附气体，且所述吸脱附单元(120)的出口连接有氢气输出管道(122)和脱附气体输出管道(121)，且所述氢气输出管道(122)连接于所述多晶硅还原系统(30)的入口，所述脱附气体输出管道(121)连接于所述四氯化硅氢化系统(20)的入口。

2.根据权利要求1所述的回收系统，其特征在于，所述回收系统(10)还包括：

脱吸单元(130)，与所述冷凝后液体输出管道连接，所述冷凝后液体通过所述脱吸单元(130)后得到组分包括氯化氢的脱吸后气体；

尾气处理单元(140)，连接于所述脱吸单元(130)的出口，用于对所述脱吸后气体进行冷凝和提纯以得到包括氯化氢的冷凝后尾气；

结晶单元(150)，连接于所述尾气处理单元(140)的出口，包括中和槽和蒸发装置，所述冷凝后尾气中的氯化氢与所述中和槽中的碱液反应生成氯化物溶液，且所述氯化物溶液通过蒸发装置进行蒸发后得到氯化物结晶体。

3.根据权利要求2所述的回收系统，其特征在于，所述脱吸单元(130)包括低压氯硅烷贮罐(131)和/或氯硅烷分离提纯塔(132)。