[实用新型]压电马达驱动的精密定位平台运动控制装置和系统

权利要求书

1.一种压电马达驱动的精密定位平台运动控制装置，其特征在于，包括数字信号处理模块、驱动模块和反馈模块，其中：

所述数字信号处理模块的驱动信号输出端与所述驱动模块的输入端连接，所述驱动模块的输出端用于连接压电马达，所述反馈模块用于将定位平台的位置信息反馈给所述数字信号处理模块的输入端。

2.根据权利要求1所述的压电马达驱动的精密定位平台运动控制装置，其特征在于，所述数字信号处理模块包括数字信号处理器DSP和与所述DSP连接的现场可编程门阵列FPGA，其中：

所述DSP的驱动信号输出端与所述驱动模块的输入端连接，所述FPGA的输入端连接所述反馈模块。

3.根据权利要求2所述的压电马达驱动的精密定位平台运动控制装置，其特征在于，所述反馈模块包括光栅编码器和与所述光栅编码器连接的用于设置在所述定位平台上的光栅读头，所述光栅编码器的输出端与所述FPGA的输入端连接。

4.根据权利要求3所述的压电马达驱动的精密定位平台运动控制装置，其特征在于，所述FPGA与所述光栅编码器之间还连接有差分接收器。

5.根据权利要求1-4任一所述的压电马达驱动的精密定位平台运动控制装置，其特征在于，所述驱动模块包括栅极驱动芯片、由MOSFET构成的H桥电路、升压变压器、以及LC谐振电路，其中：

所述栅极驱动芯片的输入端连接所述数字信号处理模块的驱动信号输出端，输出端连接所述H桥电路的输入端；

所述H桥电路的输出端连接所述升压变压器的输入端；

所述升压变压器的输出端经所述LC谐振电路后用于连接所述压电马达。

6.根据权利要求5所述的压电马达驱动的精密定位平台运动控制装置，其特征在于，所述H桥电路为两个且输出相位差为90°的全方波驱动信号；所述升压变压器为两个且为四路输入、三路输出结构。

7.一种压电马达驱动的精密定位平台运动控制系统，其特征在于，包括上位机，所述上位机连接有权利要求1-6任一所述的压电马达驱动的精密定位平台运动控制装置。

8.根据权利要求7所述的压电马达驱动的精密定位平台运动控制系统，其特征在于，所述压电马达驱动的精密定位平台运动控制装置通过RS232串口与所述上位机连接。